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1. (WO2016195190) PHOTODÉTECTEUR À HÉTÉROJONCTION ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2016/195190    International Application No.:    PCT/KR2015/013683
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Dec 15 00:59:59 CET 2015
IPC: H01L 31/09
H01L 31/0224
H01L 31/18
Applicants: INCHEON UNIVERSITY INDUSTRY ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION
인천대학교 산학협력단
Inventors: KIM, Joon Dong
김준동
YUN, Ju Hyung
윤주형
KIM, Hong Sik
김홍식
Title: PHOTODÉTECTEUR À HÉTÉROJONCTION ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
La présente invention concerne un photodétecteur à hétérojonction et son procédé de fabrication. Le photodétecteur à hétérojonction comprend un substrat de germanium, et une couche d'électrode transparente formée sur un film d'oxyde de germanium et formant une hétérojonction avec le substrat de germanium. En outre, la couche conductrice transparente est formée sur le film d'oxyde de germanium, et comprend : une première couche d'électrode transparente comprenant un premier matériau; et une seconde couche d'électrode transparente formée sur la première couche d'électrode transparente et comprenant un second matériau différent du premier matériau.