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1. (WO2016194977) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE TRANCHE COMPOSITE ÉQUIPÉE D’UN FILM MINCE MONOCRISTALLIN D’OXYDE

Pub. No.:    WO/2016/194977    International Application No.:    PCT/JP2016/066283
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jun 02 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/02
H01L 21/265
H01L 21/425
H01L 27/12
H01L 41/187
H01L 41/312
Applicants: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
信越化学工業株式会社
Inventors: AKIYAMA, Shoji
秋山 昌次
KAWAI, Makoto
川合 信
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION DE TRANCHE COMPOSITE ÉQUIPÉE D’UN FILM MINCE MONOCRISTALLIN D’OXYDE
Abstract:
L’invention fournit une tranche composite telle qu’une rupture ou un décollement est peu susceptible de se produire à une interface de collage entre une tranche de support et un film mince monocristallin d’oxyde, et un film mince de monocristaux d’oxyde consistant en un tantalate de lithium ou en un niobate de lithium, est transféré sur l’ensemble de la surface de la tranche de support. Plus concrètement, l’invention concerne un procédé de fabrication de tranche composite contenant au moins : une étape au cours de laquelle des ions d’atomes d’hydrogène ou des ions de molécules d’hydrogène sont implantés à partir d’une surface, et une couche d’implantation ionique est formée dans une partie interne d’une tranche de monocristaux d’oxyde ; une étape au cours de laquelle un traitement d’activation de surface est exécuté sur la surface d’implantation ionique de la tranche de monocristaux d’oxyde et/ou sur la surface de la tranche de support ; une étape au cours de laquelle est obtenu un corps lié par collage de la surface d’implantation ionique de la tranche de monocristaux d’oxyde et de la surface de la tranche de support ; une étape au cours de laquelle le corps lié est soumis à un traitement thermique à une température supérieure ou égale à 90°C à laquelle les ruptures ne se produisent pas ; et une étape au cours de laquelle des vibrations ultrasonores sont conférées à un corps lié traité thermiquement, et le film mince monocristallin d’oxyde transféré sur la tranche de support est obtenu par pelage suivant la couche d’implantation ionique.