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1. (WO2016194939) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE FORME DE CORPS MÉTALLIQUE

Pub. No.:    WO/2016/194939    International Application No.:    PCT/JP2016/066159
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jun 02 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01B 11/24
G01B 11/26
G01N 21/892
Applicants: NIPPON STEEL & SUMITOMO METAL CORPORATION
新日鐵住金株式会社
Inventors: KONNO, Yusuke
今野 雄介
AKAGI, Toshio
赤木 俊夫
YAMAJI, Hironao
山地 宏尚
UMEMURA, Jun
梅村 純
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE FORME DE CORPS MÉTALLIQUE
Abstract:
Le problème décrit par l'invention est d'inspecter avec davantage de précision la forme d'un corps métallique indépendamment de la rugosité de surface du corps métallique. La solution selon l'invention porte sur un appareil d'inspection de la forme d'un corps métallique pourvu d'un dispositif de mesure permettant de soumettre un corps métallique à un rayonnement d'au moins deux lumières de rayonnement et de mesurer deux lumières réfléchies des lumières de rayonnement de façon distincte l'une de l'autre par le corps métallique, et d'un dispositif de traitement de calcul permettant de calculer des informations utilisées pour inspecter la forme du corps métallique sur la base des valeurs de luminance des lumières réfléchies. Le dispositif de mesure comporte des première et seconde sources de lumière de rayonnement, chacune servant à soumettre le corps métallique à des lumières de rayonnement en forme de bande ayant des longueurs d'onde de crête mutuellement différentes, et une caméra à capteur de lignes de couleurs servant à mesurer la lumière réfléchie de la première lumière de rayonnement et la lumière réfléchie de la seconde lumière de rayonnement de façon distincte l'une de l'autre, les première et seconde sources de lumière de rayonnement étant disposées de sorte que les angles formés entre leur axe optique respectif et la direction de réflexion spéculaire de la surface du corps métallique de l'axe optique de la caméra à capteur de lignes de couleurs soient sensiblement égaux, et que la différence de longueurs d'onde de la longueur d'onde de crête de la première lumière de rayonnement et de la longueur d'onde de crête de la seconde lumière de rayonnement soit comprise entre 5 nm et 90 nm.