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1. (WO2016194893) FILM PROTECTEUR POUR DES SEMI-CONDUCTEURS, DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET FEUILLE COMPOSITE

Pub. No.:    WO/2016/194893    International Application No.:    PCT/JP2016/065992
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Wed Jun 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 23/00
H01L 21/301
H01L 21/60
H01L 25/065
H01L 25/07
H01L 25/18
Applicants: LINTEC CORPORATION
リンテック株式会社
Inventors: OKAMOTO, Naoya
岡本 直也
IKEDA, Ryohei
池田 亮平
HORIGOME, Katsuhiko
堀米 克彦
Title: FILM PROTECTEUR POUR DES SEMI-CONDUCTEURS, DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET FEUILLE COMPOSITE
Abstract:
La présente invention concerne : un film protecteur pour des semi-conducteurs, qui est apte à supprimer un gauchissement d'une puce à semi-conducteur sans détériorer la productivité et la fiabilité ; un dispositif à semi-conducteur pourvu de ce film protecteur pour des semi-conducteurs ; et une feuille composite. Un film protecteur 10 pour des semi-conducteurs selon un mode de réalisation de la présente invention est pourvu : d'une couche protectrice 11 qui est conçue à partir d'un matériau inorganique non conducteur ; et d'une couche adhésive 12 qui est prévue sur une surface de la couche protectrice 11. La couche protectrice 11 contient au moins un matériau vitreux, et est généralement conçue à partir d'une feuille de verre. Par conséquent, le gauchissement d'un élément à semi-conducteur, qui est un objet à protéger, est apte à être efficacement supprimé.