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1. (WO2016194508) CIBLE DE PULVÉRISATION EN ALLIAGE D'Al

Pub. No.:    WO/2016/194508    International Application No.:    PCT/JP2016/062571
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Apr 21 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 14/34
C22C 21/00
C22F 1/00
C22F 1/04
G06F 3/041
Applicants: KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC.
株式会社コベルコ科研
Inventors: TAKAGI Katsutoshi
高木 勝寿
Title: CIBLE DE PULVÉRISATION EN ALLIAGE D'Al
Abstract:
La présente invention concerne une cible de pulvérisation qui est constituée d'un alliage d'Al contenant de 0,1 à 3 % atomique de Nd et qui a une dureté Vickers comprise entre 29 et 36 et une intensité de pic de diffraction de rayons X correspondant à la relation de la formule (1). IAl(200) > IAl(311) > IAl(220) > IAl(111) (1) Dans la formule, IAl(200) représente l'intensité de pic de diffraction de rayons X du plan Al (200); IAl(311) représente l'intensité de pic de diffraction de rayons X du plan Al (311); IAl(220) représente l'intensité de pic de diffraction de rayons X du plan Al (220); et IAl(111) représente l'intensité de pic de diffraction de rayons X du plan Al (111).