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1. (WO2016194336) SYSTÈME DE COMMANDE POUR ROBOT DE TRANSPORT ÉQUIPÉ D'UN MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/194336 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/002519
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 24.05.2016
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 15/00 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01) ,H02J 50/90 (2016.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25
OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
J
MANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
15
Têtes de préhension
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
G
DISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
49
Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
05
pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
07
pour des plaquettes semi-conductrices
[IPC code unknown for H02J 50/90]
Déposants :
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP
Inventeurs :
鈴木 傑之 SUZUKI, Takayuki; JP
川久保 大輔 KAWAKUBO, Daisuke; JP
南 展史 MINAMI, Hirofumi; JP
武者 和博 MUSHA, Kazuhiro; JP
Mandataire :
特許業務法人青莪 SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 東京都品川区西五反田8-1-14 最勝ビル9階 9th Fl., Saisho Bldg., 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031, JP
Données relatives à la priorité :
2015-11001529.05.2015JP
Titre (EN) CONTROL SYSTEM FOR ELECTROSTATIC CHUCK-EQUIPPED TRANSPORT ROBOT
(FR) SYSTÈME DE COMMANDE POUR ROBOT DE TRANSPORT ÉQUIPÉ D'UN MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャック付き搬送ロボットの制御システム
Abrégé :
(EN) In a processing apparatus including a plurality of processing chambers for subjecting a workpiece to predetermined processes, a control system for an electrostatic chuck-equipped transport robot that transports the workpiece between the processing chambers using electrostatic attraction is configured to enable the electrostatic chuck to operate with good response characterisics. The transport robot control system according to the present invention is provided with: a robot control means Rc which is communicably connected to a central control means Mc for centrally controlling the operation of the processing apparatus, and which controls the operation of the transport robot Tr in accordance with a control signal from the central control means; and an electrostatic chuck control means Cc which controls the electrostatic attraction or release of the workpiece W with respect to the electrostatic chuck. The electrostatic chuck control means is configured to monitor the content of communications between the central control means and the robot control means, and, on the basis of the content of the communications being monitored, to control the electrostatic attraction or release of the workpiece by the electrostatic chuck.
(FR) Selon la présente invention, dans un appareil de traitement comprenant une pluralité de chambres de traitement pour soumettre une pièce à des processus prédéterminés, l'invention concerne un système de commande, pour un robot de transport équipé d'un mandrin électrostatique qui transporte la pièce entre les chambres de traitement au moyen d'une attraction électrostatique, configuré pour permettre au mandrin électrostatique de fonctionner avec de bonnes caractéristiques de réponse. Le système de commande de robot de transport selon la présente invention est pourvu : d'un moyen de commande de robot (Rc) qui est connecté de manière à pouvoir communiquer avec un moyen de commande central (Mc) assurant la commande centrale du fonctionnement de l'appareil de traitement, et qui commande le fonctionnement du robot de transport (Tr) conformément à un signal de commande provenant du moyen de commande central ; et d'un moyen de commande de mandrin électrostatique (Cc) qui commande l'attraction électrostatique ou la libération de la pièce (W) par rapport au mandrin électrostatique. Le moyen de commande de mandrin électrostatique est configuré pour surveiller le contenu des communications entre le moyen de commande central et le moyen de commande de robot, et pour commander l'attraction électrostatique ou la libération de la pièce par le mandrin électrostatique en fonction du contenu des communications surveillées.
(JA) ワークに対して所定の処理を実施する複数の処理室を有する処理装置にて、処理室間でワークを静電吸着して搬送する静電チャック付き搬送ロボットの制御システムを、応答性よく静電チャックを動作させることができるように構成する。 本発明の搬送ロボットの制御システムは、処理装置の作動を統括制御する統括制御手段Mcに通信自在に接続され、統括制御手段からの制御信号に応じて搬送ロボットTrの作動を制御するロボット制御手段Rcと、静電チャックに対するワークWの静電吸着または解除を制御する静電チャック制御手段Ccとを備える。静電チャック制御手段は、統括制御手段とロボット制御手段との通信内容を監視し、この監視する通信内容を基に静電チャックによるワークの静電吸着または解除を制御するように構成される。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)