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1. (WO2016194210) DISPOSITIF DE CLASSIFICATION D'IMAGE DE DÉFAUT ET PROCÉDÉ DE CLASSIFICATION D'IMAGE DE DÉFAUT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/194210 N° de la demande internationale : PCT/JP2015/066244
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 04.06.2015
CIB :
G01N 21/956 (2006.01) ,G01N 23/225 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
956
Inspection de motifs sur la surface d'objets
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules) non couvertes par le groupe G01N21/ ou G01N22/183
22
en mesurant l'émission secondaire
225
en utilisant une microsonde électronique ou ionique
Déposants :
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventeurs :
高木 裕治 TAKAGI Yuji; JP
原田 実 HARADA Minoru; JP
平井 大博 HIRAI Takehiro; JP
Mandataire :
青稜特許業務法人 SEIRYO I.P.C.; 東京都中央区八丁堀二丁目24番2号 24-2, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) DEFECT IMAGE CLASSIFICATION DEVICE AND DEFECT IMAGE CLASSIFICATION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE CLASSIFICATION D'IMAGE DE DÉFAUT ET PROCÉDÉ DE CLASSIFICATION D'IMAGE DE DÉFAUT
(JA) 欠陥画像分類装置および欠陥画像分類方法
Abrégé :
(EN) The present invention makes highly reliable ADC performance evaluation and ADC learning data updating possible by solving conventional visual classification problems in defect classification that uses ADC and visual classification together and using ADC and visual classification or an ADC classification device and some other classification device together. A device for classifying images of defects is provided with: a storage unit for storing defect images obtained through photography using a separate photography means; an image selection unit for using defect class information obtained through classification of defects by a plurality of separate defect classification means to select an image from among the defect images stored in the storage unit; an image classification unit for classifying the image selected by the image selection unit on the basis of a classification recipe; a classification performance evaluation unit for evaluating the classification performance of the image classification unit on the basis of the result of the image classification; and a learning updating unit for updating the classification recipe of the image classification unit using the image selected by the image selection unit if the result of evaluation by the classification performance evaluation unit does not meet a preset standard.
(FR) La présente invention permet une évaluation hautement fiable de performance ADC et rend possible une mise à jour de données d'apprentissage ADC en résolvant les problèmes de classification visuelle classique dans la classification de défauts qui utilise conjointement l'ADC et une classification visuelle et en utilisant conjointement l'ADC et une classification visuelle ou un dispositif de classification ADC et un autre dispositif de classification. Un dispositif de classification d'images de défauts comprend : une unité de stockage pour stocker des images de défauts obtenues par photographie à l'aide d'un moyen de photographie séparé ; une unité de sélection d'image pour utiliser des informations de classe de défaut obtenues par classification des défauts par une pluralité de moyens de classification de défauts séparés pour sélectionner une image parmi les images de défauts stockées dans l'unité de stockage ; une unité de classification d'image pour classer l'image sélectionnée par l'unité de sélection d'image sur la base d'une recette de classification ; une unité d'évaluation des performances de classification pour évaluer les performances de classification de l'unité de classification d'image sur la base du résultat de la classification d'image ; et une unité de mise à jour d'apprentissage pour mettre à jour la recette de classification de l'unité de classification d'image en utilisant l'image sélectionnée par l'unité de sélection d'image si le résultat d'évaluation par l'unité d'évaluation de performances de classification ne satisfait pas une norme préétablie.
(JA) ADCと目視分類の併用における欠陥分類作業において、従来の目視分類の課題を解決した上で、ADCと目視分類、あるいはADCとその他の分類装置を併用して、信頼性の高いADCの性能評価と、ADC学習データの更新を可能にする。 欠陥の画像を分類する装置を、他の撮像手段で撮像して得られた欠陥の画像を記憶する記憶部と、他の複数の欠陥分類手段で欠陥を分類した欠陥クラスの情報を用いて記憶部に記憶した欠陥の画像の中から画像を選択する画像選択部と、画像選択部で選択した画像を分類レシピに基づいて分類する画像分類部と、画像を分類した結果に基づいて画像分類部の分類性能を評価する分類性能評価部と、分類性能評価部で評価した結果が予め設定した基準に達しない場合には前記画像選択部で選択した画像を用いて前記画像分類部の分類レシピを更新する学習更新部とを備えて構成した。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)