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1. (WO2016193331) SYSTÈME DE SONDES ET PROCÉDÉ POUR LE LOGEMENT D'UNE SONDE D'UN MICROSCOPE À SONDES À BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/193331 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/062436
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 02.06.2016
CIB :
G01Q 70/02 (2010.01)
[IPC code unknown for G01Q 70/02]
Déposants :
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Str. 2 73447 Oberkochen, DE
Inventeurs :
BAUR, Christof; DE
RUHM, Sylvio; DE
BARALIA, Gabriel; DE
POHL, Christoph; DE
HARNATH, Björn; DE
WEBER, Matthias; DE
Mandataire :
WEGNER, Hans; DE
Données relatives à la priorité :
10 2015 210 159.202.06.2015DE
Titre (EN) PROBE SYSTEM AND METHOD FOR RECEIVING A PROBE OF A SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) SYSTÈME DE SONDES ET PROCÉDÉ POUR LE LOGEMENT D'UNE SONDE D'UN MICROSCOPE À SONDES À BALAYAGE
(DE) SONDENSYSTEM UND VERFAHREN ZUM AUFNEHMEN EINER SONDE EINES RASTERSONDENMIKROSKOPS
Abrégé :
(EN) The invention relates to a probe system (100) for a scanning probe microscope, which probe system (a) has a receiving device (110, 2110) for a probe (170, 870, 1470, 1570, 2270), (b) has a probe store (120), which provides at least one probe (170, 870, 1470, 1570, 2270) for the scanning probe microscope, (c) wherein the probe (170, 870, 1470, 1570, 2270), the probe store (120), and the receiving device (110, 2110) are designed such that the probe (170, 1470, 1570, 2270) can enter a releasable first connection (215, 415, 815) to the probe store (120) and a releasable second connection (565) to the receiving device (110, 2110), wherein the first and/or the second connection uses a magnetic force; and wherein, for receiving of the probe (170, 870, 1470, 1570, 2270), the receiving device (110, 2110) and the probe store (120) can be moved in relation to each other in such a way that the probe (170, 1470, 1570, 2270) enters the second connection (565) before the first connection (215, 415, 815) is released.
(FR) L'invention concerne un système de sondes (100) pour un microscope à sondes à balayage qui comprend (a) un dispositif de logement (110, 2110) pour une sonde (170, 870, 1470, 1570, 2270), (b) un espace de stockage de sondes (120) qui fournit au moins une sonde (170, 870, 1470, 1570, 2270) pour le microscope à sondes à balayage, (c) la sonde (170, 870, 1470, 1570, 2270), l'espace de stockage de sondes (120) et le dispositif de logement (110, 2110) étant réalisés de sorte que la sonde (170, 870, 1470, 1570, 2270) puisse établir une première liaison amovible (215, 415, 815) avec l'espace de stockage de sondes (120) et une deuxième liaison amovible (565) avec le dispositif de logement (110, 2110), la première et/ou la deuxième liaison utilisant une force magnétique ; et le dispositif de logement (110, 2110) et l'espace de stockage de sondes (120) pouvant être déplacés l'un par rapport à l'autre afin de loger la sonde (170, 870, 1470, 1570, 2270) de telle sorte que la sonde (170, 870, 1470, 1570, 2270) établit la deuxième liaison (565) avant que la première liaison (215, 415, 815) ne disparaisse.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Sondensystem (100) für ein Rastersondenmikroskop das (a) eine Aufnahmevorrichtung (110, 2110) für eine Sonde (170, 870, 1470, 1570, 2270) aufweist, (b) einen Sondenspeicher (120) aufweist, der zumindest eine Sonde (170, 870 470, 1570, 2270) für das Rastersondenmikroskop bereitstellt, (c) wobei die Sonde (170, 870 1470, 1570, 2270), der Sondenspeicher (120) und die Aufnahmevorrichtung (110,2110) ausgebildet sind, sodass die Sonde (170, 1470, 1570, 2270) eine lösbare erste Verbindung (215, 415, 815) mit dem Sondenspeicher (120) und eine lösbare zweite Verbindung (565) mit der Aufnahmevorrichtung (110, 2110) eingehen kann, wobei die erste und / oder die zweite Verbindung eine Magnetkraft verwendet; und wobei die Aufnahmevorrichtung (110, 2110) und der Sondenspeicher (120) zum Aufnehmen der Sonde (170, 870, 1470, 1570, 2270) so relativ zueinander bewegbar sind, dass die Sonde (170, 1470, 1570, 2270) die zweite Verbindung (565) eingeht,bevor die erste Verbindung (215, 415, 815) gelöst wird.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)