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1. (WO2016193296) PROCÉDÉ D'ORIENTATION DE SUBSTRATS AVANT LA LIAISON

Pub. No.:    WO/2016/193296    International Application No.:    PCT/EP2016/062360
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jun 02 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/67
H01L 21/68
Applicants: EV GROUP E. THALLNER GMBH
Inventors: DRAGOI, Viorel
Title: PROCÉDÉ D'ORIENTATION DE SUBSTRATS AVANT LA LIAISON
Abstract:
L'invention concerne un procédé d'orientation d'un premier substrat (7), comprenant au moins deux premiers repères d'orientation (8), avec un second substrat (7') comprenant au moins deux deuxièmes repères d'orientation (8'). Au moins deux premiers éléments d'orientation caractéristiques (9) du premier substrat (7) dans une direction X et une direction Y sont associés aux premiers repères d'orientation (8) par une première opération d'association. Au moins deux deuxièmes éléments d'orientation caractéristiques (9') du deuxième substrat (7') dans une direction X et une direction Y sont associés aux deuxièmes repères d'orientation (8') par une deuxième opération d'association. Les premiers (8) et deuxièmes repères d'orientation (8') sont orientés les uns par rapport aux autres au moyen des premiers et deuxièmes éléments d'orientation caractéristiques (9, 9') dans les directions X et Y par une opération d'orientation. En outre, la présente invention concerne un dispositif correspondant.