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1. (WO2016193037) PROCÉDÉ POUR LA DÉTERMINATION D'UNE INFORMATION DE HAUTEUR À RÉSOLUTION SPATIALE D'UN ÉCHANTILLON AU MOYEN D'UN MICROSCOPE À CHAMP LARGE ET MICROSCOPE À CHAMP LARGE
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N° de publication : WO/2016/193037 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/061581
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 23.05.2016
CIB :
G01B 11/24 (2006.01) ,G02B 21/00 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH[DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena, DE
Inventeurs : LIPPERT, Helmut; DE
LANGHOLZ, Nils; DE
NETZ, Ralf; DE
WOLLESCHENSKY, Ralf; DE
Mandataire : MÜLLER, Silke; DE
Données relatives à la priorité :
10 2015 210 016.201.06.2015DE
Titre (EN) METHOD FOR DETERMINING SPATIALLY RESOLVED HEIGHT INFORMATION OF A SAMPLE BY MEANS OF A WIDE-FIELD MICROSCOPE, AND WIDE-FIELD MICROSCOPE
(FR) PROCÉDÉ POUR LA DÉTERMINATION D'UNE INFORMATION DE HAUTEUR À RÉSOLUTION SPATIALE D'UN ÉCHANTILLON AU MOYEN D'UN MICROSCOPE À CHAMP LARGE ET MICROSCOPE À CHAMP LARGE
(DE) VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINER ORTSAUFGELÖSTEN HÖHENINFORMATION EINER PROBE MIT EINEM WEITFELDMIKROSKOP UND WEITFELDMIKROSKOP
Abrégé : front page image
(EN) The invention relates to a wide-field microscope and to a method for determining spatially resolved height information of a sample (14) by means of a wide-field microscope. The wide-field microscope comprises an illumination source (1, 52, 53), which is arranged in an illumination beam path; a first detector unit (17, 33) for capturing a wide-field image in an observation beam path of a sample (14) illuminated in a sample plane (P); a modulator for chromatically modulating the illumination beam path or the observation beam path in a direction perpendicular to the sample plane (P); an evaluating unit for determining chromatic confocal height information in each pixel of the wide-field image. The method comprises the following steps: illuminating the sample (14) by means of a wide-band illumination source (1) in an illumination beam path; chromatically modulating the illumination beam path or a detection beam path; capturing at least one wide-field image from sample light reflected or emitted by the sample in the detection beam path, said sample light having chromatic confocal components; determining, pixel by pixel, height information of the sample from the wide-field image by evaluating chromatic confocal components of the detection beam path in accordance with the chromatic modulation.
(FR) L'invention concerne un microscope à champ large et un procédé pour la détermination d'une information de hauteur à résolution spatiale d'un échantillon (14) au moyen d'un microscope à champ large. Le microscope à champ large comprend une source d'éclairage (1, 52, 53) qui est disposée dans un trajet du rayon d'éclairage ; une première unité de détecteur (17, 33) pour la détection d'une image à champ large dans un trajet des rayons d'observation d'un échantillon (14) éclairé dans un plan d'échantillons (P) ; un modulateur pour la modulation chromatique du trajet des rayons d'éclairage ou du trajet des rayons d'observation dans un sens perpendiculaire au plan des échantillons (P) ; une unité d'évaluation pour la détermination d'une information de hauteur chromatiquement confocale sur chaque point de l'image du champ large. Le procédé comprend les étapes suivantes : l'éclairage de l'échantillon (14) avec une source d'éclairage à large bande (1) dans un trajet des rayons d'éclairage ; la modulation chromatique du trajet des rayons d'éclairage ou d'un trajet des rayons de détection ; la détection d'au moins une image à champ large à partir de la lumière d'échantillon réfléchie ou émise par l'échantillon dans le trajet des rayons de détection avec des fractions chromatiquement confocales ; la détermination pixelisée des informations de hauteur de l'échantillon à partir de l'image à champ large grâce à l'évaluation des fractions chromatiquement confocales du trajet des rayons de détection en fonction de la modulation chromatique.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Weitfeldmikroskop und ein Verfahren zum Ermitteln einer ortsaufgelösten Höheninformation einer Probe (14) mit einem Weitfeldmikroskop. Das Weitfeldmikroskop umfasst eine Beleuchtungsquelle (1, 52, 53), die in einem Beleuchtungsstrahlengang angeordnet ist; eine erste Detektoreinheit (17, 33) zur Erfassung eines Weitfeldbildes in einem Beobachtungsstrahlengang einer in einer Probenebene (P) beleuchteten Probe (14); einen Modulator zur chromatischen Modulation des Beleuchtungsstrahlenganges oder des Beobachtungsstrahlenganges in einer Richtung senkrecht zur Probenebene (P); eine Auswerteeinheit zur Ermittlung einer chromatisch konfokalen Höheninformation in jedem Bildpunkt des Weitfeldbildes. Das Verfahren umfasst folgende Schritte: Beleuchten der Probe (14) mit einer breitbandigen Beleuchtungsquelle (1) in einem Beleuchtungsstrahlengang; chromatische Modulation des Beleuchtungsstrahlenganges oder eines Detektionsstrahlenganges; Erfassen mindestens eines Weitfeldbildes aus von der Probe in dem Detektionsstrahlengang reflektierten oder emittierten Probenlichtes mit chromatisch konfokalen Anteilen; Pixelweises Ermitteln von Höheninformationen der Probe aus dem Weitfeldbild durch Auswerten chromatisch konfokaler Anteile des Detektionsstrahlenganges in Abhängigkeit von der chromatischen Modulation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)