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1. (WO2016192964) SIMULATION DE LITHOGRAPHIE À L'AIDE D'ÉCHANTILLONNAGES MULTIPLES DE DISTRIBUTION ANGULAIRE DE RAYONNEMENT SOURCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/192964 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/060891
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 13.05.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
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Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
HSU, Duan-Fu, Stephen; US
HOWELL, Rafael C.; US
JIA, Jianjun; US
Mandataire :
PETERS, John; NL
Données relatives à la priorité :
62/168,44129.05.2015US
Titre (EN) SIMULATION OF LITHOGRAPHY USING MULTIPLE-SAMPLING OF ANGULAR DISTRIBUTION OF SOURCE RADIATION
(FR) SIMULATION DE LITHOGRAPHIE À L'AIDE D'ÉCHANTILLONNAGES MULTIPLES DE DISTRIBUTION ANGULAIRE DE RAYONNEMENT SOURCE
Abrégé :
(EN) Disclosed herein is a computer-implemented method including: determining a first partial image formed from a first radiation portion propagating along a first group of one or more directions, by a lithographic projection apparatus; determining a second partial image formed from a second radiation portion propagating along a second group of one or more directions, by the lithographic projection apparatus; determining an image by incoherently adding the first partial image and the second partial image; wherein the first group of one or more directions and the second group of one or more directions are different.
(FR) L'invention concerne un procédé mis en œuvre par ordinateur, qui consiste : à déterminer une première image partielle formée à partir d'une première partie de rayonnement se propageant le long d'un premier groupe d'une ou plusieurs directions, par un appareil de projection lithographique ; à déterminer une seconde image partielle formée à partir d'une seconde partie de rayonnement se propageant le long d'un second groupe d'une ou plusieurs directions, par l'appareil de projection lithographique ; à déterminer une image en ajoutant de manière incohérente la première image partielle et la seconde image partielle ; le premier groupe d'une ou plusieurs directions et le second groupe d'une ou plusieurs directions étant différents.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)