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1. (WO2016192918) APPAREIL DE SURVEILLANCE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE CHANGEMENT D'UNE PROPRIÉTÉ

Pub. No.:    WO/2016/192918    International Application No.:    PCT/EP2016/060002
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu May 05 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 7/20
G01L 1/24
G01B 11/16
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: LEIJTENS, Johannes, Adrianus, Petrus
AKKERMANS, Johannes, Antonius, Gerardus
HAVERDINGS, Michael, Benjamin
KAT, Pieter, Lucas
LEENKNEGT, George, Alois, Leonie
Title: APPAREIL DE SURVEILLANCE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE CHANGEMENT D'UNE PROPRIÉTÉ
Abstract:
L'invention concerne un appareil de surveillance configuré pour surveiller un changement d'une propriété. L'appareil de surveillance comprend un capteur à réseau de Bragg à fibres, un amplificateur, un intégrateur et un processeur. Le capteur à réseau de Bragg à fibres est conçu pour détecter une bande de longueurs d'onde de rayonnement incident et pour émettre un signal de sortie de capteur correspondant. La bande de rayonnement est centrée sur une première valeur représentant une longueur d'onde de Bragg. L'amplificateur est conçu pour séparer le signal de sortie de capteur en une première partie et en une seconde partie, pour créer une première partie inversée en inversant la première partie, et pour créer un signal amplifié sur la base de la première partie inversée et de la seconde partie L'intégrateur est conçu pour intégrer le signal amplifié pour obtenir un signal intégré. Le processeur est conçu pour obtenir une seconde valeur représentant un décalage de la longueur d'onde de Bragg sur la base du signal intégré.