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1. (WO2016192918) APPAREIL DE SURVEILLANCE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE CHANGEMENT D'UNE PROPRIÉTÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/192918    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/060002
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 04.05.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G01L 1/24 (2006.01), G01B 11/16 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : LEIJTENS, Johannes, Adrianus, Petrus; (NL).
AKKERMANS, Johannes, Antonius, Gerardus; (NL).
HAVERDINGS, Michael, Benjamin; (NL).
KAT, Pieter, Lucas; (NL).
LEENKNEGT, George, Alois, Leonie; (NL)
Mandataire : RAS, Michael; (NL)
Données relatives à la priorité :
15170184.4 02.06.2015 EP
Titre (EN) MONITORING APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD OF MONITORING A CHANGE IN A PROPERTY
(FR) APPAREIL DE SURVEILLANCE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE CHANGEMENT D'UNE PROPRIÉTÉ
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a monitoring apparatus configured to monitor a change in a property. The monitoring apparatus comprises a fiber-Bragg grating sensor, an amplifier, an integrator and a processor. The fiber-Bragg grating sensor is operable to sense a band of wavelengths of incident radiation and to output a corresponding sensor output signal. The band of radiation is centered upon a first value representing a Bragg wavelength. The amplifier is arranged to separate the sensor output signal in a first part and a second part, to create an inverted first part by inverting the first part, and to create an amplified signal based on the inverted first part and the second part. The integrator is operable to integrate the amplified signal to obtain an integrated signal. The processor operable to derive a second value representative of a shift of the Bragg wavelength based on the integrated signal.
(FR)L'invention concerne un appareil de surveillance configuré pour surveiller un changement d'une propriété. L'appareil de surveillance comprend un capteur à réseau de Bragg à fibres, un amplificateur, un intégrateur et un processeur. Le capteur à réseau de Bragg à fibres est conçu pour détecter une bande de longueurs d'onde de rayonnement incident et pour émettre un signal de sortie de capteur correspondant. La bande de rayonnement est centrée sur une première valeur représentant une longueur d'onde de Bragg. L'amplificateur est conçu pour séparer le signal de sortie de capteur en une première partie et en une seconde partie, pour créer une première partie inversée en inversant la première partie, et pour créer un signal amplifié sur la base de la première partie inversée et de la seconde partie L'intégrateur est conçu pour intégrer le signal amplifié pour obtenir un signal intégré. Le processeur est conçu pour obtenir une seconde valeur représentant un décalage de la longueur d'onde de Bragg sur la base du signal intégré.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)