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1. (WO2016192865) SYSTÈME D'ALIGNEMENT

Pub. No.:    WO/2016/192865    International Application No.:    PCT/EP2016/055388
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Tue Mar 15 00:59:59 CET 2016
IPC: G03F 9/00
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: MATHIJSSEN, Simon, Gijsbert, Josephus
DEN BOEF, Arie, Jeffrey
POLO, Alessandro
TINNEMANS, Patricius, Aloysius, Jacobus
SCHELLEKENS, Adrianus, Johannes, Hendrikus
YEGANEGI DASTGERDI, Elahe
COENE, Willem, Marie, Julia, Marcel
BOGAART, Erik, Willem
HUISMAN, Simon, Reinald
Title: SYSTÈME D'ALIGNEMENT
Abstract:
La présente invention concerne un système d'alignement, un procédé et un appareil lithographique destinés à déterminer la position d'un repère d'alignement. Le système d'alignement comprend un premier système conçu pour produire deux images se chevauchant du repère d'alignement, qui sont mises en rotation d'environ 180 degrés l'une par rapport à l'autre, ainsi qu'un second système conçu pour déterminer la position du repère d'alignement à partir d'une répartition dans l'espace d'une intensité des deux images se chevauchant.