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1. (WO2016192814) SOURCE DE DÉPÔT PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, APPAREIL DE PULVÉRISATION CATHODIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT

Pub. No.:    WO/2016/192814    International Application No.:    PCT/EP2015/062600
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat Jun 06 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01J 37/34
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
LOPP, Andreas
Inventors: LOPP, Andreas
Title: SOURCE DE DÉPÔT PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, APPAREIL DE PULVÉRISATION CATHODIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT
Abstract:
L'invention concerne une source de dépôt (100) destinée à un dépôt par pulvérisation cathodique. La source de dépôt comprend une cathode (110) pour la fourniture d'un matériau cible à déposer, un ensemble aimant mobile (120), et un ensemble anode (130), qui est mobile suivant l'ensemble aimant (120).