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1. (WO2016192785) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF, ET PROCÉDÉ DE SERRAGE D'UN OBJET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/192785 N° de la demande internationale : PCT/EP2015/062351
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 03.06.2015
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs : JANSSEN, Paul; NL
BRULS, Richard; NL
VAN GILS, Petrus; NL
Mandataire : RAS, Michael; NL
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND METHOD OF CLAMPING AN OBJECT
(FR) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF, ET PROCÉDÉ DE SERRAGE D'UN OBJET
Abrégé : front page image
(EN) A lithographic apparatus comprises a first object holder (WT) and a second object holder. The first object holder is arranged for holding an object (W) at a holder-facing surface. The object has the holder-facing surface. The second object holder is arranged for holding the object at the holder-facing surface. The lithographic apparatus is arranged to deform a contaminating particle (50) at the holder-facing surface more when the object is held at the second object holder than when the object is held at the first object holder.
(FR) La présente invention se rapporte à un appareil lithographique qui comprend un premier porte-objet (WT) et un second porte-objet. Le premier porte-objet est conçu pour retenir un objet (W) sur une surface se trouvant en regard d'un porte-objet. L'objet comporte la surface se trouvant en regard d'un porte-objet. Le second porte-objet est prévu pour retenir l'objet sur la surface se trouvant en regard d'un porte-objet. L'appareil lithographique est destiné à déformer davantage une particule contaminante (50) sur la surface se trouvant en regard d'un porte-objet lorsque l'objet est retenu par le second porte-objet que lorsque l'objet est retenu par le premier porte-objet.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)