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1. (WO2016192358) MICROPHONE MEMS DE TYPE À CAPACITÉ DIFFÉRENTIELLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/192358 N° de la demande internationale : PCT/CN2015/096914
Date de publication : 08.12.2016 Date de dépôt international : 10.12.2015
CIB :
H04R 19/04 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
04
TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
R
HAUT-PARLEURS, MICROPHONES, TÊTES DE LECTURE POUR TOURNE-DISQUES OU TRANSDUCTEURS ACOUSTIQUES ÉLECTROMÉCANIQUES ANALOGUES; APPAREILS POUR SOURDS; SYSTÈMES D'ANNONCE EN PUBLIC
19
Transducteurs électrostatiques
04
Microphones
Déposants :
歌尔声学股份有限公司 GOERTEK INC [CN/CN]; 中国山东省潍坊市 高新技术产业开发区东方路268号知识产权部/肖伟伟 IP/Xiao Weiwei No. 268 Dongfang Road, Hi-Tech Industry District Weifang, Shandong 261031, CN
Inventeurs :
郑国光 ZHENG, Guoguang; CN
Données relatives à la priorité :
201510290375.029.05.2015CN
Titre (EN) DIFFERENTIAL-CAPACITANCE TYPE MEMS MICROPHONE
(FR) MICROPHONE MEMS DE TYPE À CAPACITÉ DIFFÉRENTIELLE
(ZH) 一种差分电容式MEMS麦克风
Abrégé :
(EN) Disclosed is a differential-capacitance type MEMS microphone, comprising: a circuit board, a first MEMS chip and a second MEMS chip; the first MEMS chip comprises a first substrate arranged on the circuit board, and a first capacitor arranged on the first substrate, the first capacitor comprising a first back polar plate located at the upper part, a first vibrating diaphragm located at the lower part, a first isolation layer arranged between the first back polar plate and the first vibrating diaphragm; and the second MEMS chip comprises a second substrate arranged on the circuit board, and a second capacitor arranged on the second substrate, the second capacitor comprising a second back polar plate located at the lower part, a second vibrating diaphragm located at the upper part, a second isolation layer arranged between the second back polar plate and the second vibrating diaphragm. The first capacitor and the second capacitor form a pair of differential capacitors. The differential-capacitance type MEMS microphone of the present invention can filter out outside noise signals, thereby increasing a signal to noise ratio, and improving the performance of microphone products.
(FR) L'invention concerne un microphone MEMS de type à capacité différentielle, qui comprend : une carte de circuit imprimé, une première puce MEMS et une seconde puce MEMS ; la première puce MEMS comprend un premier substrat disposé sur la carte de circuit imprimé et un premier condensateur disposé sur le premier substrat, le premier condensateur comprend une première plaque polaire arrière située au niveau de la partie supérieure, une première membrane vibrante située au niveau de la partie inférieure, une première couche d'isolation disposée entre la première plaque polaire arrière et la première membrane vibrante et la seconde puce MEMS comprend un second substrat disposé sur la carte de circuit imprimé et un second condensateur disposé sur le second substrat, le second condensateur comprenant une seconde plaque polaire arrière située au niveau de la partie inférieure, une seconde membrane vibrante située au niveau de la partie supérieure et une seconde couche d'isolation disposée entre la seconde plaque polaire arrière et la seconde membrane vibrante. Le premier condensateur et le second condensateur forment une paire de condensateurs différentiels. Le microphone MEMS de type à capacité différentielle de la présente invention peut filtrer les signaux de bruit extérieurs, ce qui augmente le rapport signal sur bruit et améliore les performances des produits de type microphone.
(ZH) 本发明公开了一种差分电容式MEMS麦克风,包括:线路板、第一MEMS芯片、以及第二MEMS芯片;第一MEMS芯片包括设置在线路板上的第一基底,设置在第一基底上的第一电容,包括位于上方的第一背极板、位于下方的第一振膜、以及设置在第一背极板和第一振膜之间的第一隔离层;第二MEMS芯片包括设置在线路板上的第二基底,设置在第二基底上的第二电容,包括位于下方的第二背极板、位于上方的第二振膜、以及设置在第二背极板和第二振膜之间的第二隔离层;第一电容和第二电容构成一对差分电容。本发明的差分电容式MEMS麦克风可以滤除外界的噪声信号,提高信噪比,提高麦克风产品的性能。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)