Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2016191621) PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR PROCESSUS DISCONTINU DE DURCISSEMENT PAR MICRO-ONDES

Pub. No.:    WO/2016/191621    International Application No.:    PCT/US2016/034489
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri May 27 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/67
H01L 21/324
H01L 21/205
H01L 21/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: RATHI, Saket
JUPUDI, Ananthkrishna
SUNDARARAJAN, Mukund
VENKATASWAMAPPA, Manjunath Handenahalli
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR PROCESSUS DISCONTINU DE DURCISSEMENT PAR MICRO-ONDES
Abstract:
Selon certains modes de réalisation, l'invention concerne une chambre de traitement pour un processus discontinu de durcissement par micro-ondes qui comprend : un corps annulaire dont une surface extérieure et une surface intérieure délimitent une ouverture centrale du corps annulaire, la surface intérieure comportant une pluralité de surfaces inclinées délimitant un premier volume ; une première lèvre s'étendant radialement vers l'extérieur à partir de la surface extérieure du corps annulaire à proximité d'une première extrémité du corps annulaire ; une seconde lèvre s'étendant radialement vers l'extérieur à partir de la surface extérieure du corps annulaire à proximité d'une seconde extrémité du corps annulaire ; un échappement disposé entre la première lèvre et la seconde lèvre et en communication fluidique avec le premier volume, l'échappement comportant une pluralité de premières ouvertures ; une pluralité de secondes ouvertures en communication fluidique avec le premier volume, la pluralité de secondes ouvertures étant configurées pour exposer le premier volume à de l'énergie de micro-ondes ; un ou plusieurs orifices en communication fluidique avec le premier volume.