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1. (WO2016191542) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE FOURNITURE D'UN ENVIRONNEMENT PROPRE DANS UN SYSTÈME D'OPTIQUE ÉLECTRONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/191542 N° de la demande internationale : PCT/US2016/034297
Date de publication : 01.12.2016 Date de dépôt international : 26.05.2016
CIB :
H01J 37/30 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30
Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26
Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28
avec faisceaux de balayage
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
SCHULTZ, William; US
DELGADO, Gildardo; US
ROSE, Garry; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
Données relatives à la priorité :
15/164,27325.05.2016US
62/166,69127.05.2015US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING A CLEAN ENVIRONMENT IN AN ELECTRON-OPTICAL SYSTEM
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE FOURNITURE D'UN ENVIRONNEMENT PROPRE DANS UN SYSTÈME D'OPTIQUE ÉLECTRONIQUE
Abrégé :
(EN) An electron extractor of an electron source capable of absorbing contaminant materials from a cavity proximate to the extractor is disclosed. The electron extractor includes a body. The body of the electron extractor is formed from one or more non-evaporable getter materials. The one or more non-evaporable getter materials absorb one or more contaminants contained within a region proximate to the body of the electron extractor. The body of the electron extractor is further configured to extract electrons from one or more emitters posited proximate to the body of the electron extractor.
(FR) L'invention concerne un extracteur d'électrons d'une source d'électrons capable d'absorber des contaminants à partir d'une cavité à proximité de l'extracteur. L'extracteur d'électrons comprend un corps. Le corps de l'extracteur d'électrons est constitué d'un ou de plusieurs matériaux de getter non évaporables. Le ou les matériaux de getter non évaporables absorbent un ou plusieurs contaminants contenus à l'intérieur d'une région à proximité du corps de l'extracteur d'électrons. Le corps de l'extracteur d'électrons est en outre conçu pour extraire des électrons à partir d'un ou de plusieurs émetteurs positionnés à proximité du corps de l'extracteur d'électrons.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)