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1. (WO2016191199) DIISOPROPYLAMINOPENTACHLORODISILANE

Pub. No.:    WO/2016/191199    International Application No.:    PCT/US2016/033273
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri May 20 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 16/455
C23C 16/40
C23C 16/34
C23C 16/32
C23C 16/24
Applicants: DOW CORNING CORPORATION
Inventors: ZHOU, Xiaobing
Title: DIISOPROPYLAMINOPENTACHLORODISILANE
Abstract:
L'invention concerne : un composé précurseur de silicium pour le dépôt, le composé précurseur de silicium comprenant du diisopropylaminopentachlorodisilane de formule (A) [(CH3)2CH]2NSiCl2SiCl3 ; une composition filmogène, la composition comprenant le composé précurseur de silicium et au moins un élément choisi parmi un gaz inerte, de l'hydrogène moléculaire, un précurseur de carbone, un précurseur d'azote et un précurseur d'oxygène ; un procédé de formation d'un film contenant du silicium sur un substrat utilisant le composé précurseur de silicium ; et le film contenant du silicium ainsi formé.