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1. (WO2016191114) MÉTROLOGIE DE CARACTÉRISTIQUE SPECTRALE D'UN FAISCEAU DE LUMIÈRE PULSÉE

Pub. No.:    WO/2016/191114    International Application No.:    PCT/US2016/032214
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri May 13 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01J 1/42
G01J 3/28
G01J 11/00
G03F 7/20
Applicants: CYMER, LLC
Inventors: THORNES, Joshua, Jon
Title: MÉTROLOGIE DE CARACTÉRISTIQUE SPECTRALE D'UN FAISCEAU DE LUMIÈRE PULSÉE
Abstract:
L'invention concerne un système de métrologie qui comprend un appareil de séparation de fréquence optique dans le trajet du faisceau de lumière pulsée et configuré pour interagir avec le faisceau de lumière pulsée et délivrer en sortie une pluralité de composantes spatiales qui correspondent aux composantes spectrales du faisceau de lumière pulsée; une pluralité de régions de détection qui reçoivent et détectent les composantes spatiales de sortie; et un système de commande relié à une sortie de chaque région de détection. Le système de commande est configuré pour : mesurer, pour chaque sortie de région de détection, une propriété des composantes spatiales de sortie provenant de l'appareil de séparation de fréquence optique pour une ou plusieurs impulsions; analyser les propriétés mesurées y compris l'établissement de la moyenne des propriétés mesurées pour calculer une estimation de la caractéristique spectrale du faisceau de lumière pulsée; et déterminer si la caractéristique spectrale estimée du faisceau de lumière pulsée est dans une plage acceptable de valeurs de caractéristiques spectrales.