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1. (WO2016191114) MÉTROLOGIE DE CARACTÉRISTIQUE SPECTRALE D'UN FAISCEAU DE LUMIÈRE PULSÉE
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N° de publication : WO/2016/191114 N° de la demande internationale : PCT/US2016/032214
Date de publication : 01.12.2016 Date de dépôt international : 12.05.2016
CIB :
G01J 1/42 (2006.01) ,G01J 3/28 (2006.01) ,G01J 11/00 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CYMER, LLC[US/US]; 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127-2413, US
Inventeurs : THORNES, Joshua, Jon; US
Mandataire : NGUYEN, Joseph, A.; US
Données relatives à la priorité :
14/720,20722.05.2015US
Titre (EN) SPECTRAL FEATURE METROLOGY OF A PULSED LIGHT BEAM
(FR) MÉTROLOGIE DE CARACTÉRISTIQUE SPECTRALE D'UN FAISCEAU DE LUMIÈRE PULSÉE
Abrégé : front page image
(EN) A metrology system includes an optical frequency separation apparatus in the path of the pulsed light beam and configured to interact with the pulsed light beam and output a plurality of spatial components that correspond to the spectral components of the pulsed light beam; a plurality of sensing regions that receive and sense the output spatial components; and a control system connected to an output of each sensing region. The control system is configured to: measure, for each sensing region output; a property of the output spatial components from the optical frequency separation apparatus for one or more poises; analyze the measured properties including averaging the measured properties to calculate an estimate of the spectral feature of the pulsed light beam; and determine whether tire estimated spectral feature of the pulsed light beam is within an acceptable range of values of spectral features.
(FR) L'invention concerne un système de métrologie qui comprend un appareil de séparation de fréquence optique dans le trajet du faisceau de lumière pulsée et configuré pour interagir avec le faisceau de lumière pulsée et délivrer en sortie une pluralité de composantes spatiales qui correspondent aux composantes spectrales du faisceau de lumière pulsée; une pluralité de régions de détection qui reçoivent et détectent les composantes spatiales de sortie; et un système de commande relié à une sortie de chaque région de détection. Le système de commande est configuré pour : mesurer, pour chaque sortie de région de détection, une propriété des composantes spatiales de sortie provenant de l'appareil de séparation de fréquence optique pour une ou plusieurs impulsions; analyser les propriétés mesurées y compris l'établissement de la moyenne des propriétés mesurées pour calculer une estimation de la caractéristique spectrale du faisceau de lumière pulsée; et déterminer si la caractéristique spectrale estimée du faisceau de lumière pulsée est dans une plage acceptable de valeurs de caractéristiques spectrales.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)