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1. (WO2016190982) ENSEMBLES PORTE DE SUPPORT DE SUBSTRAT, SUPPORTS DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉS FAISANT APPEL À UN JOINT DE PORTE MAGNÉTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   
N° de publication : WO/2016/190982 N° de la demande internationale : PCT/US2016/027801
Date de publication : 01.12.2016 Date de dépôt international : 15.04.2016
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
MAZZOCCO, John J.; US
MERRY, Nir; US
Mandataire :
DUGAN, Brian M.; US
Données relatives à la priorité :
62/165,55522.05.2015US
Titre (EN) SUBSTRATE CARRIER DOOR ASSEMBLIES, SUBSTRATE CARRIERS, AND METHODS INCLUDING MAGNETIC DOOR SEAL
(FR) ENSEMBLES PORTE DE SUPPORT DE SUBSTRAT, SUPPORTS DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉS FAISANT APPEL À UN JOINT DE PORTE MAGNÉTIQUE
Abrégé :
(EN) A substrate carrier door assembly including relatively high sealing force that can be modulated. Substrate carrier door assembly includes a carrier door configured to seal to a carrier body, a first attraction member on the carrier body, and a second attraction member on the carrier door. Attraction members are selected from a group of a magnetic material and a permanent magnet. Substrate carrier door assembly includes a magnetic field generator energizable to reduce attraction force between the attraction members making the carrier door relatively easier to remove, yet providing enhanced sealing when not energized. Substrate carriers including the substrate carrier door assembly and methods of processing substrates are provided. A substrate carrier including a port configured to allow gas to be injected into, or removed from, a carrier chamber, and a magnetic port seal is also disclosed, as are numerous other aspects.
(FR) La présente invention concerne un ensemble porte de support de substrat comprenant une force d'étanchéité relativement élevée qui peut être modulée. L'ensemble porte de support de substrat comprend une porte de support conçue pour assurer l'étanchéité d'un corps de support, un premier élément d'attraction sur le corps de support, et un second élément d'attraction sur la porte de support. Les éléments d'attraction sont choisis dans un groupe constitué par un matériau magnétique et un aimant permanent. L'ensemble porte de support de substrat comprend un générateur de champ magnétique pouvant être excité afin de réduire la force d'attraction entre les éléments d'attraction, ce qui rend la porte de support relativement plus facile à enlever, tout en assurant une meilleure étanchéité lorsque celui-ci n'est pas excité. L'invention concerne également des supports de substrat comprenant l'ensemble porte de support de substrat et des procédés de traitement de substrats. L'invention concerne en outre, entre autres nombreux aspects, un support de substrat comprenant un orifice conçu pour permettre qu'un gaz soit injecté dans une chambre de support, ou éliminé de celle-ci, ainsi qu'un joint d'orifice magnétique.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)