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1. (WO2016190887) MOYEN POUR DÉCOUPLER DES MÉCANISMES DE COMMUTATION DE DIFFUSION ET DE SOLUBILITÉ DE RÉSINES PHOTOSENSIBLES

Pub. No.:    WO/2016/190887    International Application No.:    PCT/US2015/033060
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri May 29 01:59:59 CEST 2015
IPC: G03F 7/004
H01L 21/027
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: KRYSAK, Marie
BRISTOL, Robert Lindsey
NYHUS, Paul Anton
LEESON, Michael J.
Title: MOYEN POUR DÉCOUPLER DES MÉCANISMES DE COMMUTATION DE DIFFUSION ET DE SOLUBILITÉ DE RÉSINES PHOTOSENSIBLES
Abstract:
Des modes de réalisation de l'invention concernent des matériaux résines photosensibles et des procédés de modelage de contours de matériaux résines photosensibles. Dans un mode de réalisation, un matériau résine photosensible comprend une pluralité de verres moléculaires (MG). Dans un mode de réalisation, une température de transition vitreuse Tg du matériau résine photosensible est inférieure à une température d'activation nécessaire pour débloquer des groupes de blocage des MG. Des modes de réalisation comprennent un procédé de modelage de contours sur un matériau résine photosensible qui consiste à exposer le matériau résine photosensible à du rayonnement ultraviolet. Le procédé peut également consister à effectuer une première cuisson post-exposition à une première température, qui est inférieure à la température d'activation nécessaire pour débloquer des groupes de blocage des MG, et effectuer une deuxième cuisson post-exposition à une deuxième température qui est approximativement supérieure ou égale à la température d'activation nécessaire pour débloquer des groupes de blocage des MG.