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1. (WO2016190381) DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE POUR L'EXPOSITION, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/190381    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/065545
Date de publication : 01.12.2016 Date de dépôt international : 26.05.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 3/00 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01)
Déposants : V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005 (JP)
Inventeurs : KAWASHIMA Hironori; (JP)
Mandataire : EIKOH PATENT FIRM, P.C.; Toranomon East Bldg. 10F, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-106049 26.05.2015 JP
Titre (EN) LIGHTING DEVICE FOR EXPOSURE, EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE POUR L'EXPOSITION, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
(JA) 露光用照明装置、露光装置及び露光方法
Abrégé : front page image
(EN)A lighting device for exposure is provided with: a lamp unit (60); a fly eye lens (65) that has a plurality of lens elements (65a) arranged in a matrix with p rows and q columns; a plane mirror (68) that is provided with a mirror transformation unit (70) for changing the shape of a reflection surface; and an optical filter (90) that has a plurality of cells (91) arranged in a matrix with p-2 to p+2 rows and q-2 to q+2 columns and each having the same light transmittance distribution, and is disposed between the lamp unit (60) and the fly eye lens (65) and movable in a direction orthogonal to an optical path (EL).
(FR)L'invention concerne un dispositif d'éclairage pour l'exposition et est pourvu de : une unité de lampe (60) ; une lentille à effet « œil de mouche » (65) qui a une pluralité d'éléments de lentille (65a) disposés dans une matrice avec p rangées et q colonnes ; un miroir plan (68) qui est pourvu d'une unité de transformation (70) de miroir pour changer la forme d'une surface de réflexion ; et un filtre optique (90) qui a une pluralité de cellules (91) placées dans une matrice avec p-2 à p+2 rangées et q-2 à q+2 colonnes et chacune possédant la même répartition de transmittance de lumière, et qui est disposé entre l'unité de lampe (60) et la lentille à effet « œil de mouche » (65) et est mobile dans une direction orthogonale à un chemin optique (EL).
(JA)ランプユニット(60)と、p行、q列のマトリックス状に配列された複数のレンズ素子(65a)を有するフライアイレンズ(65)と、反射面の形状を変更するミラー変形ユニット(70)を備える平面ミラー(68)と、p-2~p+2行、q-2~q+2列のマトリックス状に配列され、それぞれ同一の光透過率分布を持った複数のセル(91)を有し、ランプユニット(60)とフライアイレンズ(65)との間に配置されて光路(EL)に直交する方向に移動可能な光学フィルタ(90)と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)