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1. (WO2016190128) PROCÉDÉ DE POLISSAGE ET AGENT D'AJUSTEMENT DE COMPOSITION
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N° de publication : WO/2016/190128 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/064226
Date de publication : 01.12.2016 Date de dépôt international : 13.05.2016
CIB :
B24B 57/02 (2006.01) ,B24B 37/00 (2012.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : FUJIMI INCORPORATED[JP/JP]; 1-1, Chiryo 2-chome, Nishibiwajima-cho, Kiyosu-shi, Aichi 4528502, JP
Inventeurs : ODA Hiroyuki; JP
TAKAMI Shinichiro; JP
TAKAHASHI Shuhei; JP
TABATA Makoto; JP
Mandataire : MORI Tetsuya; JP
Données relatives à la priorité :
2015-10455222.05.2015JP
Titre (EN) POLISHING METHOD AND COMPOSITION ADJUSTING AGENT
(FR) PROCÉDÉ DE POLISSAGE ET AGENT D'AJUSTEMENT DE COMPOSITION
(JA) 研磨方法及び組成調整剤
Abrégé : front page image
(EN) Provided is a polishing method which achieves an excellent polishing result even when a polishing composition which has been used in polishing an object to be polished is collected and reused. The polishing method according to the present invention for polishing an object to be polished using a polishing composition containing a water-soluble polymer, comprises: a polishing step for polishing the object to be polished while supplying the polishing composition in a tank (21) to the object to be polished; a collection step for collecting and returning the polishing composition which has been used in polishing the object to be polished to the tank (21) for circulation; and a composition adjusting step for adjusting the concentration of the water-soluble polymer in the polishing composition supplied to the object to be polished, to a value falling within a preset range.
(FR) La présente invention concerne un procédé de polissage qui permet d'obtenir un excellent résultat de polissage, même lorsqu'une composition de polissage qui a été utilisée dans le polissage d'un objet à polir est récupérée et réutilisée. Le procédé de polissage selon la présente invention permettant de polir un objet à polir à l'aide d'une composition de polissage contenant un polymère soluble dans l'eau, comprend : une étape de polissage consistant à polir l'objet à polir tout en fournissant la composition de polissage dans un réservoir (21) à l'objet à polir ; une étape de collecte consistant à collecter et à ramener la composition de polissage qui a été utilisée lors du polissage de l'objet à polir au réservoir (21) pour la circulation ; et une étape d'ajustement de composition consistant à ajuster la concentration du polymère soluble dans l'eau dans la composition de polissage fournie à l'objet à polir, à une valeur tombant dans une plage prédéfinie.
(JA) 研磨対象物の研磨に使用された研磨用組成物を回収して再使用した場合でも優れた研磨結果が得られる研磨方法を提供する。本発明の研磨方法は、水溶性高分子を含有する研磨用組成物を使用して研磨対象物を研磨する研磨方法であり、タンク(21)内の研磨用組成物を研磨対象物に供給しながら研磨対象物を研磨する研磨工程と、研磨対象物の研磨に使用された研磨用組成物を回収してタンク(21)に戻し循環させる回収工程と、研磨対象物に供給される研磨用組成物中の水溶性高分子の濃度を、予め設定された範囲内の数値となるように調整する組成調整工程と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)