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1. (WO2016190128) PROCÉDÉ DE POLISSAGE ET AGENT D'AJUSTEMENT DE COMPOSITION

Pub. No.:    WO/2016/190128    International Application No.:    PCT/JP2016/064226
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat May 14 01:59:59 CEST 2016
IPC: B24B 57/02
B24B 37/00
H01L 21/304
Applicants: FUJIMI INCORPORATED
株式会社フジミインコーポレーテッド
Inventors: ODA Hiroyuki
織田 博之
TAKAMI Shinichiro
高見 信一郎
TAKAHASHI Shuhei
▲高▼橋 修平
TABATA Makoto
田畑 誠
Title: PROCÉDÉ DE POLISSAGE ET AGENT D'AJUSTEMENT DE COMPOSITION
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de polissage qui permet d'obtenir un excellent résultat de polissage, même lorsqu'une composition de polissage qui a été utilisée dans le polissage d'un objet à polir est récupérée et réutilisée. Le procédé de polissage selon la présente invention permettant de polir un objet à polir à l'aide d'une composition de polissage contenant un polymère soluble dans l'eau, comprend : une étape de polissage consistant à polir l'objet à polir tout en fournissant la composition de polissage dans un réservoir (21) à l'objet à polir ; une étape de collecte consistant à collecter et à ramener la composition de polissage qui a été utilisée lors du polissage de l'objet à polir au réservoir (21) pour la circulation ; et une étape d'ajustement de composition consistant à ajuster la concentration du polymère soluble dans l'eau dans la composition de polissage fournie à l'objet à polir, à une valeur tombant dans une plage prédéfinie.