Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2016189650) DISPOSITIF D'INSPECTION

Pub. No.:    WO/2016/189650    International Application No.:    PCT/JP2015/065064
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Wed May 27 01:59:59 CEST 2015
IPC: G01N 21/956
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: KIMOTO Yoshio
樹本 好央
HAMAMATSU Akira
浜松 玲
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION
Abstract:
L'invention concerne un dispositif d'inspection qui comprend : une unité optique d'éclairage qui expose une région individuelle d'un échantillon à une lumière ; une unité de commande qui donne des instructions à l'unité optique d'éclairage ; et au moins une unité de détection qui détecte la lumière transmise par l'échantillon. L'unité optique d'éclairage comprend une unité de source de lumière qui génère de la lumière, et une unité d'élément électro-optique sur lequel la lumière générée par l'unité de source de lumière est entrée, et sur la base des instructions données par l'unité de commande, l'unité d'élément électro-optique règle la lumière afin qu'elle soit dans un état de polarisation souhaité, ladite lumière ayant été générée par l'unité de source de lumière, et rayonne sur l'échantillon avec la lumière.