Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2016189579) RÉCIPIENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/189579 N° de la demande internationale : PCT/JP2015/064719
Date de publication : 01.12.2016 Date de dépôt international : 22.05.2015
CIB :
H01L 21/673 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673
utilisant des supports spécialement adaptés
Déposants :
ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都豊島区東池袋1丁目24番1号 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013, JP
Inventeurs :
永島 剛 NAGASHIMA, Tsuyoshi; JP
Mandataire :
正林 真之 SHOBAYASHI, Masayuki; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE-ACCOMMODATING CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Abrégé :
(EN) The bottom part of a substrate-accommodating container includes: contact parts 7 for contacting each of a plurality of positioning parts 921, 922 provided to a load port for conveying a substrate accommodated in a substrate-accommodating space to a processing device, the positioning parts 921, 922 positioning a container body relative to the load port; and an interior bottom engagement part 615 positioned closer to an interior wall 22 than a center position CP between the contact part 7 positioned closest to an opening in the container body and the contact part 7 positioned closest to the interior wall 22 with respect to the direction in which the opening in the container body and the interior wall 22 are linked, the interior bottom engagement part 615 being engaged and secured by the container engaging part 911 of the load port.
(FR) La partie inférieure d'un récipient de réception de substrat comprend : des parties de contact 7 permettant de mettre en contact chaque partie parmi une pluralité de parties de positionnement 921, 922 agencées sur un orifice de charge en vue de transporter un substrat reçu dans un espace de réception de substrat vers un dispositif de traitement, les parties de positionnement 921, 922 positionnant un corps de récipient par rapport à l'orifice de charge ; et une partie de mise en prise 615 de fond interne positionnée plus près d'une paroi intérieure 22 qu'une position centrale CP entre la partie de contact 7 positionnée le plus près d'une ouverture dans le corps de récipient et la partie de contact 7 positionnée le plus près de la paroi intérieure 22 par rapport à la direction dans laquelle sont liées l'ouverture dans le corps de récipient et la paroi intérieure 22, la partie de mise en prise 615 de fond interne étant mise en prise et fixée au moyen de la partie de mise en prise de récipient 911 de l'orifice de charge.
(JA) 基板収納容器の底部は、基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた複数の位置合わせ部921、922であって、容器本体をロードポートに対して位置決めするための複数の位置合わせ部921、922にそれぞれ当接する当接部7と、容器本体開口部と奥壁22とを結ぶ方向において、最も容器本体開口部寄りに位置する当接部7と、最も奥壁22寄りに位置する当接部7と、の中央位置CPよりも奥壁22寄りに位置し、ロードポートの容器係止部911に係止されて固定される奥側底部被係止部615と、を有する。
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)