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1. (WO2016189575) MICROSCOPE EN CHAMP PROCHE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/189575    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/064690
Date de publication : 01.12.2016 Date de dépôt international : 22.05.2015
CIB :
G01Q 20/02 (2010.01)
Déposants : SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511 (JP)
Inventeurs : NAGAI, Masamichi; (JP)
Mandataire : KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE EN CHAMP PROCHE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡
Abrégé : front page image
(EN)For each single picture, an imaging control unit (11) controls a video camera (8) so as to capture an image while switching between a first imaging condition suitable for capturing an image of a laser light spot and a second imaging condition suitable for capturing an image of a cantilever. A picture synthesis unit (15) creates a picture in which a laser light spot image and a cantilever image clearly appear in each of two consecutive pictures, and displays the picture in a display unit (9). A laser light center position detection unit (13), a cantilever tip position detection unit (14), and a position adjustment amount computation unit (16) calculate a position adjustment amount for adjusting an optical axis from the laser light center position and the cantilever tip position obtained by image processing from each of the two consecutive pictures, and the calculated numerical value is also displayed in the display unit (9). An operator operates an operating unit (7) while viewing the pictures and the adjustment amount, and executes an optical axis adjustment. Optical axis adjustment can thereby be easily and reliably performed on the basis of a real observation picture not adequately viewable by normal imaging.
(FR)Dans le cadre de la présente invention, pour chaque image unique, une unité de commande d'imagerie (11) commande une caméra vidéo (8) afin de capturer une image tout en commutant entre une première condition d'imagerie appropriée pour capturer une image d'une lumière laser ponctuelle et une seconde condition d'imagerie appropriée pour capturer une image d'un porte-à-faux. Une unité de synthèse d'image (15) crée une image dans laquelle une image de lumière laser ponctuelle et une image de porte-à-faux apparaissent dans chacune de deux images consécutives, et affiche l'image dans une unité d'affichage (9). Une unité de détection de position de centre de lumière laser (13), une unité de détection de position de pointe de porte-à-faux (14), et une unité de calcul de quantité d'ajustement de position (16) calculent une quantité d'ajustement de position pour ajuster un axe optique de la position de centre de lumière laser et de la position de pointe de porte-à-faux obtenues par traitement d'image à partir de chacune des deux images consécutives, et la valeur numérique calculée est également affichée dans l'unité d'affichage (9). Un opérateur actionne une unité de fonctionnement (7) tout en visualisant les images et la quantité d'ajustement, et exécute un ajustement d'axe optique. Un ajustement d'axe optique peut ainsi être réalisé de façons aisée et fiable en fonction d'une image d'observation réelle qui ne peut pas ê visualisée de manière adéquate par imagerie normale.
(JA)撮影制御部(11)は1枚の画像毎に、レーザ光スポットの撮影に適した第1撮影条件とカンチレバーの撮影に適した第2撮影条件とを切り替えながら撮影を行うようにビデオカメラ(8)を制御する。画像合成部(15)は連続する2枚の画像に各々明瞭に現れるレーザ光スポット像とカンチレバー像とを合成した画像を作成し表示部(9)に表示する。レーザ光中心位置検出部(13)、カンチレバー先端位置検出部(14)及び位置調整量演算部(16)は、連続する2枚の画像から各々画像処理により求めたレーザ光中心位置とカンチレバー先端位置とから光軸調整のための位置調整量を算出し、その数値も表示部(9)に表示する。作業者はこれら画像と調整量を見ながら操作部(7)を操作して光軸調整を実行する。これにより、通常の撮影では十分に見ることができない実観察画像に基づいて、光軸調整を容易に且つ確実に行うことができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)