Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2016189451) MICROPOUTRES DE MEMS MULTICOUCHE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/189451 N° de la demande internationale : PCT/IB2016/053013
Date de publication : 01.12.2016 Date de dépôt international : 23.05.2016
CIB :
G01Q 60/38 (2010.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01) ,G01Q 70/14 (2010.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
Q
TECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE [SPM]
60
Types particuliers de microscopie à sonde à balayage SPM [Scanning-Probe Microscopy] ou appareils à cet effet; Composants essentiels de ceux-ci
24
Microscopie à forces atomiques AFM [Atomic Force Microscopy] ou appareils à cet effet, p.ex. sondes AFM
38
Sondes, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, p.ex. supports
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
C
PROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1
Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
Q
TECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE [SPM]
70
Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
08
Caractéristiques des sondes
14
Matériaux particuliers
Déposants :
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) [CH/CH]; EPFL-TTO EPFL Innovation Park J 1015 Lausanne, CH
Inventeurs :
FANTNER, Georg Ernest; CH
ADAMS, Jonathan David; CH
HOSSEINI, Nahid; CH
Mandataire :
BYRNE, Declan; CH
Données relatives à la priorité :
PCT/IB2015/05376922.05.2015IB
Titre (EN) MULTILAYER MEMS CANTILEVERS
(FR) MICROPOUTRES DE MEMS MULTICOUCHE
Abrégé :
(EN) The present invention relates to a cantilever or membrane comprising a body and an elongated beam attached to the body. The elongated beam includes a first layer comprising a first material, a second layer comprising a second material having an elastic modulus different to that of the first material, a third layer comprising a third material having an elastic modulus different to that of the first material, where the first layer is sandwiched between the second layer and the third layer.
(FR) La présente invention concerne une micropoutre ou une membrane comprenant un corps et un faisceau allongé fixé au corps. Le faisceau allongé comprend une première couche comprenant un premier matériau, une deuxième couche comprenant un deuxième matériau ayant un module d'élasticité différent de celui du premier matériau, une troisième couche comprenant un troisième matériau ayant un module d'élasticité différent de celui du premier matériau, la première couche étant prise en sandwich entre la deuxième couche et la troisième couche.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)