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1. (WO2016188378) DISPOSITIF DE MESURE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE COUCHE MINCE COMPRENANT UN SUBSTRAT TRANSPARENT

Pub. No.:    WO/2016/188378    International Application No.:    PCT/CN2016/082867
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat May 21 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 21/21
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: LIU, Hao
刘昊
ZHOU, Yuying
周钰颖
Title: DISPOSITIF DE MESURE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE COUCHE MINCE COMPRENANT UN SUBSTRAT TRANSPARENT
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de mesure pour une couche mince comprenant un substrat transparent, qui comprend une source de lumière (1), une lentille de collimation (2), un filtre (3), un polariseur (4), un élément de division de lumière (5), et un objectif (7) le long d'une direction de propagation de trajet de lumière. L'élément de division de lumière (5) est relié à un détecteur à panneau plat (11) et à un processeur (13). La lumière émise par la source de lumière (1) passe séquentiellement à travers la lentille de collimation (2), le filtre (3), le polariseur (4), l'élément de division de lumière (5) et l'objectif (7), et forme ensuite une lumière de mesure qui pénètre dans une couche mince comprenant un substrat transparent; la lentille d'objectif (7) et l'élément de division de lumière (5) collectent la lumière de réflexion provenant de la couche mince comprenant un substrat transparent, et le détecteur à panneau plat (11) et le processeur (13) mesurent un paramètre physique de la couche mince comprenant un substrat transparent en fonction de la lumière de réflexion collectée. Le dispositif de mesure comprend également un diaphragme de protection utilisé pour éliminer une lumière de réflexion qui est générée en raison du substrat transparent pendant la mesure et qui interfère avec la mesure.