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1. (WO2016188371) SYSTÈME DE TRANSPORT DE TRANCHES DE SILICIUM

Pub. No.:    WO/2016/188371    International Application No.:    PCT/CN2016/082790
Publication Date: Fri Dec 02 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat May 21 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 7/20
G03F 9/00
H01L 21/67
H01L 21/677
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: LIU, Kai
刘凯
HU, Songli
胡松立
JIANG, Jie
姜杰
Title: SYSTÈME DE TRANSPORT DE TRANCHES DE SILICIUM
Abstract:
Un système de transport de tranches de silicium selon l'invention est adopté dans un système de photolithographie comprenant un dispositif de stockage de tranches de silicium (400), un dispositif de pré-alignement (500), une plate-forme tampon (700) et une plate-forme de travail (600). Le système de transport de tranches de silicium comprend deux bras robotiques (100) configurés pour saisir une tranche de silicium devant être exposée à partir du dispositif de stockage de tranches de silicium (400) et la déplacer vers le dispositif de pré-alignement (500), et saisir une tranche de silicium exposée à partir de la plate-forme tampon (700) et la placer sur le dispositif de stockage de tranches de silicium (400); un bras robotique de chargement de tranche translationnel (200) configuré pour déplacer une tranche de silicium pré-alignée vers la plate-forme de travail (600); et un bras robotique de déchargement de tranche translationnel (300), configuré pour déplacer la tranche de silicium exposée vers la plate-forme tampon (700). Les deux bras robotiques (100), le bras robotique de chargement de tranche translationnel (200) et le bras robotique de déchargement de tranche translationnel (300), peuvent fonctionner en parallèle, réduisant ainsi un temps de transport de tranches de silicium.