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1. (WO2016154438) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UN DISPOSITIF À RÉSEAU DE CAPTEURS À SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2016/154438    International Application No.:    PCT/US2016/024013
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Mar 25 00:59:59 CET 2016
IPC: G01N 27/414
C11D 3/16
C11D 3/37
Applicants: LIFE TECHNOLOGIES CORPORATION
Inventors: BALL, James
WAGGONER, Phil
PARKER, Scott
Title: PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UN DISPOSITIF À RÉSEAU DE CAPTEURS À SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
L'invention concerne un procédé de traitement d'un réseau de capteurs comprenant une pluralité de capteurs, de préférence des CHEMFET, et une structure d'isolation, un capteur de la pluralité de capteurs ayant un tampon de capteur exposé à une surface du réseau de capteurs et la structure d'isolation étant disposée entre le tampon de capteur et des tampons de capteurs d'autres capteurs de la pluralité de capteurs, consiste à exposer le tampon de capteur et la structure d'isolation à une solution organo-siliciée non-aqueuse comprenant un composé organo-silicié, de préférence du polydiméthylsiloxane (PDMS), et un premier support non-aqueux; appliquer une solution acide comprenant un acide organique, de préférence de l'acide dodécyl-benzène-sulfonique (DBSA), et un second support non-aqueux sur le tampon de capteur; et rincer la solution acide du tampon de capteur et de la structure d'isolation.