Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2016154352) MESURE DE PARAMÈTRE UNIQUE À BASE DE MODÈLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/154352 N° de la demande internationale : PCT/US2016/023832
Date de publication : 29.09.2016 Date de dépôt international : 23.03.2016
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
PANDEV, Stilian Ivanov; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
Données relatives à la priorité :
15/076,53021.03.2016US
62/137,22524.03.2015US
Titre (EN) MODEL-BASED SINGLE PARAMETER MEASUREMENT
(FR) MESURE DE PARAMÈTRE UNIQUE À BASE DE MODÈLE
Abrégé :
(EN) Methods and systems for building and using a parameter isolation model to isolate measurement signal information associated with a parameter of interest from measurement signal information associated with incidental model parameters are presented herein. The parameter isolation model is trained by mapping measurement signals associated with a first set of instances of a metrology target having known values of a plurality of incidental model parameters and known values of a parameter of interest to measurement signals associated with a second set of instances of the metrology target having nominal values of the plurality of incidental model parameters and the known values of the parameter of interest. The trained parameter isolation model receives raw measurement signals and isolates measurement signal information associated with a specific parameter of interest for model-based parameter estimation. The number of floating parameters of the measurement model is reduced, resulting in a significant reduction of computational effort.
(FR) L'invention concerne des procédés et des systèmes de construction et d'utilisation d'un modèle d'isolement de paramètre pour isoler des informations de signal de mesure associées à un paramètre d'intérêt d'avec des informations de signal de mesure associées à des paramètres de modèle annexes. Le modèle d'isolement de paramètre est soumis à un apprentissage par appariement de signaux de mesure, associés à un premier ensemble d'instances d'une cible de métrologie ayant des valeurs connues d'une pluralité de paramètres de modèle annexes et des valeurs connues d'un paramètre d'intérêt, avec des signaux de mesure associés à un second ensemble d'instances de la cible de métrologie ayant des valeurs nominales de la pluralité de paramètres de modèle annexes et les valeurs connues du paramètre d'intérêt. Après l'apprentissage, le modèle d'isolement de paramètre reçoit des signaux de mesure bruts et isole des informations de signal de mesure associées à un paramètre d'intérêt spécifique pour effectuer une estimation de paramètre à base de modèle. Le nombre de paramètres flottants du modèle de mesure est réduit, entraînant une réduction importante de l'effort de calcul.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)