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1. (WO2016154200) STRUCTURE POUR OBTENIR UNE STABILITÉ DIMENSIONNELLE LORS DE VARIATIONS DE TEMPÉRATURE

Pub. No.:    WO/2016/154200    International Application No.:    PCT/US2016/023578
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Mar 23 00:59:59 CET 2016
IPC: G01Q 60/36
G01Q 30/10
H01J 37/20
G01N 3/00
G01N 3/42
Applicants: NANOMECHANICS, INC.
Inventors: OLIVER, Warren
PARDHASARADHI, Sudharshan, Phani
ANTHONY, Richard
Title: STRUCTURE POUR OBTENIR UNE STABILITÉ DIMENSIONNELLE LORS DE VARIATIONS DE TEMPÉRATURE
Abstract:
L'invention porte sur une platine porte-échantillon chauffée ou refroidie destinée à être utilisée dans un système de mesure par nanoindentation. La géométrie de la conception et la sélection de matériaux réduit au minimum le mouvement d'un porte-échantillon par rapport à une pointe de nanoindentation sur une large plage de températures. Le système commande et rend minimal le mouvement du porte-échantillon dû au chauffage ou au refroidissement du porte-pointe et/ou du porte-échantillon dans un système de nanoindentation à haute température. Ceci est obtenu par une combinaison de la géométrie, de la sélection de matériau et de sources et de puits de chaleur multiples. Le système est conçu pour commander à la fois le régime permanent et la réponse transitoire à un déplacement.