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1. (WO2016153346) PASSAGE TOURNANT POUR LE MONTAGE D'UN SUBSTRAT TUBULAIRE EN ROTATION DANS UN TOUR, TOUR CVD ET PROCÉDÉ CORRESPONDANT L'UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/153346    N° de la demande internationale :    PCT/NL2016/050198
Date de publication : 29.09.2016 Date de dépôt international : 22.03.2016
CIB :
C03B 37/018 (2006.01)
Déposants : DRAKA COMTEQ B.V. [NL/NL]; De Boelelaan 7 1083 HJ Amsterdam (NL)
Inventeurs : MILICEVIC, Igor; (NL).
HENS, Raoul; (NL).
HARTSUIKER, Johannes Antoon; (NL).
KRABSHUIS, Gertjan; (NL).
VAN STRALEN, Mattheus Jacobus Nicolaas; (NL)
Mandataire : ALGEMEEN OCTROOI- EN MERKENBUREAU B.V.; P.O. Box 645 5600 AP Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
2014519 25.03.2015 NL
Titre (EN) A ROTARY FEED-THROUGH FOR MOUNTING A ROTATING SUBSTRATE TUBE IN A LATHE, A CVD LATHE AND A CORRESPONDING METHOD USING THE CVD LATHE
(FR) PASSAGE TOURNANT POUR LE MONTAGE D'UN SUBSTRAT TUBULAIRE EN ROTATION DANS UN TOUR, TOUR CVD ET PROCÉDÉ CORRESPONDANT L'UTILISANT
Abrégé : front page image
(EN)A rotary feed-through for mounting a rotating substrate tube in a lathe and providing a flow of process gas into the tube, said feed-through comprising a process gas supply line for providing a process gas into said substrate tube, a rotatable holder arranged for receiving and holding said substrate tube for rotating said substrate tube with respect to said process gas supply line, a rotary union provided between said rotatable holder and said process gas supply line for rotatably connecting said rotatable holder to said process gas supply line, a stationary housing connected to said process gas supply line and to said rotatable holder, therewith forming a closed cavity surrounding said rotary union, wherein said stationary housing further comprises an auxiliary gas supply line for providing said closed cavity with an auxiliary gas.
(FR)Cette invention concerne un passage tournant pour le montage d'un substrat tubulaire en rotation dans un tour et l'injection d'un flux de gaz de procédé dans le tube, ledit passage rotatif comprenant un conduit d'alimentation en gaz de procédé pour injecter un gaz de procédé dans le tube, un porte-tube doué de rotation conçu pour recevoir et maintenir ledit substrat tubulaire en rotation par rapport audit conduit d'alimentation en gaz de procédé, un raccord rotatif situé entre ledit porte-tube et ledit conduit d'alimentation en gaz de procédé pour le raccordement rotatif dudit porte-tube doué de rotation audit conduit d'alimentation en gaz de procédé, un boîtier fixe raccordé audit conduit d'alimentation en gaz de procédé et audit porte-tube doué de rotation, pour former ainsi une cavité fermée entourant ledit raccord rotatif, ledit boîtier fixe comprenant en outre un conduit d'alimentation en gaz auxiliaire pour injecter un gaz auxiliaire dans ladite cavité fermée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)