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1. (WO2016153052) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PHOTOMASQUE ET APPAREIL D'INSPECTION

Pub. No.:    WO/2016/153052    International Application No.:    PCT/JP2016/059725
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Sat Mar 26 00:59:59 CET 2016
IPC: G03F 1/84
G01N 21/956
Applicants: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
大日本印刷株式会社
Inventors: KOIZUMI Hayahiko
小泉 隼彦
NARITA Syouhei
成田 昌平
NAKAMURA Daisuke
中村 大輔
ARIMA Yasunori
有馬 安則
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PHOTOMASQUE ET APPAREIL D'INSPECTION
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un photomasque (10) qui comprend, avant l'étape finale parmi des étapes de fabrication de photomasque, une étape intermédiaire d'inspection pour inspecter un corps étranger sur un photomasque (18) partiellement fabriqué.