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1. (WO2016153051) DISPOSITIF D'INSPECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/153051    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/059721
Date de publication : 29.09.2016 Date de dépôt international : 25.03.2016
CIB :
G03F 1/84 (2012.01), G01N 21/956 (2006.01)
Déposants : DAI NIPPON PRINTING CO., LTD. [JP/JP]; 1-1, Ichigaya-kaga-cho 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1628001 (JP)
Inventeurs : HADA Emiko; (JP).
NARITA Syouhei; (JP).
AMBAI Yasuhito; (JP)
Mandataire : NAGAI Hiroshi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-062379 25.03.2015 JP
Titre (EN) INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) 検査装置
Abrégé : front page image
(EN)An inspection device (1) includes the following which are provided inside an inspection chamber: holders (65) for holding the sides of a photomask (10); a camera (64) for capturing an image, from below, of the inspection surface of the photomask which has been placed on the holders; and an X-stage (61), a Y-stage (62), and a θ-stage (63) for specifying the image capture position of the photomask. The ceiling of the inspection chamber is provided with an FFU that generates a downflow. The X-stage, the Y-stage, and the θ-stage are covered by a cover (60) that has openings in the top surface thereof, and the opening edges (60a) of the cover are positioned at least partly on the inner sides of the outer edges (65a) of the holders.
(FR)Un dispositif d'inspection (1) comprend les éléments suivants, placés à l'intérieur d'une chambre d'inspection : des supports (65) pour maintenir les côtés d'un masque photographique (10) ; un appareil photo (64) pour capturer une image, de dessous, de la surface d'inspection du masque photographique placé sur les supports ; et un étage X (61), un étage Y (62), et un étage thêta (63) pour spécifier la position de capture d'image du masque photographique. Le plafond de la chambre d'inspection comprend une FFU qui génère un flux descendant. L'étage X, l'étage Y, et l'étage thêta sont couverts par un couvercle (60) qui présente des ouvertures dans sa surface supérieure, et les bords d'ouverture (60a) du couvercle sont placés au moins partiellement sur les côtés internes des bords externes (65a) des supports.
(JA) 検査装置(1)では、フォトマスク(10)の側辺を保持するホルダー(65)と、ホルダーに配置したフォトマスクの検査面を下から撮影するカメラ(64)と、フォトマスクの撮影位置を定めるためのXステージ(61)、Yステージ(62)、θステージ(63)が検査室内に配置される。検査室の天井には、ダウンフローを発生させるFFUが設けられる。Xステージ、Yステージ、θステージは、上面に開口を有するカバー(60)で覆われ、少なくとも一部で、カバーの開口縁(60a)がホルダーの外縁(65a)の内側に位置する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)