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1. (WO2016152957) RUBAN DE TRAITEMENT À SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2016/152957    International Application No.:    PCT/JP2016/059313
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Mar 25 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 21/301
C09J 7/02
H01L 21/683
Applicants: FURUKAWA ELECTRIC CO.,LTD.
古河電気工業株式会社
Inventors: SANO, Toru
佐野 透
SUGIYAMA, Jirou
杉山 二朗
AOYAMA, Masami
青山 真沙美
Title: RUBAN DE TRAITEMENT À SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
Le problème décrit dans la présente invention consiste à fournir un ruban de traitement à semi-conducteurs qui présente un faible taux de rétrécissement thermique et qui n'est pas sujet aux rides lorsque le ruban se rétrécit uniformément indépendamment du sens du ruban et dont la largeur de saignée s'étend uniformément sans déplacement de position de puce. La solution selon la présente invention concerne un ruban de traitement à semi-conducteurs qui est caractérisé en ce que le taux de rétrécissement thermique dans le sens de la longueur et dans le sens de la largeur du ruban lorsqu'il est chauffé pendant 10 secondes à 100 °C est compris entre 0 et 20 %, inclus et lorsque le taux de rétrécissement thermique soit dans le sens de la longueur soit dans le sens de la largeur est supérieur ou égal à 0,1 %, le taux de rétrécissement thermique dans le sens de la longueur/le taux de rétrécissement thermique dans le sens de la largeur = 0,01-100, inclus. (Taux de retrait = (dimensions avant chauffage - dimensions après chauffage)/dimensions avant chauffage × 100 (%))