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1. (WO2016152089) APPAREIL DE PULVÉRISATION CATHODIQUE À HAUTE FRÉQUENCE ET PROCÉDÉ DE PULVÉRISATION CATHODIQUE

Pub. No.:    WO/2016/152089    International Application No.:    PCT/JP2016/001459
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Mar 16 00:59:59 CET 2016
IPC: C23C 14/34
C23C 14/40
C23C 14/50
H05H 1/46
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: FUJII, Yoshinori
藤井 佳詞
NAKAMURA, Shinya
中村 真也
Title: APPAREIL DE PULVÉRISATION CATHODIQUE À HAUTE FRÉQUENCE ET PROCÉDÉ DE PULVÉRISATION CATHODIQUE
Abstract:
L'invention concerne un appareil de pulvérisation cathodique à haute fréquence qui permet de former efficacement un film par la suppression autant que possible de l'importance d'une pulvérisation cathodique inverse sur un substrat à traiter. L'appareil de pulvérisation cathodique à haute fréquence SM selon la présente invention, qui applique une puissance haute fréquence à une cible (21) dans un vide et qui forme un film sur une surface Wa du substrat à traiter W, comprend une platine (4) qui retient le substrat à traiter, une surface de cette dernière étant ouverte dans un état électriquement isolé. La platine comprend une partie en creux (42) dans une surface de retenue du substrat à traiter, un corps mobile (44) étant relié à la terre et pouvant se déplacer librement vers le substrat à traiter et en s'éloignant de ce dernier étant prévu dans un espace (43) délimité par l'autre surface du substrat à traiter et un contour de la partie en creux lorsque le substrat à traiter est maintenu de façon telle qu'une partie périphérique externe du substrat à traiter vient en butée contre une surface de retenue (41) de la platine.