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1. (WO2016150690) DÉTECTEUR DE FUITES ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE FUITES

Pub. No.:    WO/2016/150690    International Application No.:    PCT/EP2016/054808
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Tue Mar 08 00:59:59 CET 2016
IPC: G01M 3/20
Applicants: PFEIFFER VACUUM
Inventors: DUCIMETIERE, Laurent
PUECH, Michel
ROUVEYRE, Frédéric
Title: DÉTECTEUR DE FUITES ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE FUITES
Abstract:
L'invention concerne un détecteur de fuites (1) pour la détection de fuites d'un objet à tester (A) par détection d'un gaz traceur, le détecteur de fuites (1) comprenant: -une entrée des gaz (2), -un dispositif de pompage (4), -une canalisation de pompage (3) raccordant l'entrée des gaz (2) au dispositif de pompage (4), -un dispositif de détection de gaz traceur (6) monté sur la canalisation de pompage (3), en dérivation du dispositif de pompage (4), le dispositif de détection de gaz traceur (6) comportant: une sonde (12) configurée pour ioniser les molécules de gaz et mesurer le courant des molécules de gaz ionisées, et une membrane séparatrice (8) agencée en amont de la sonde (12), -caractérisé en ce que la membrane séparatrice (8) est une couche mono atomique de graphène (9) déposée sur un substrat perméable aux gaz (11) du dispositif de détection de gaz traceur (6), des orifices de sélection (10) dont la plus grande dimension (D) est inférieure à 5 Angstrom étant ménagés dans la couche mono atomique de graphène (9) de sorte que seules les molécules de gaz ayant des dimensions plus petites que les orifices de sélection (10) puissent traverser la membrane séparatrice (8) pour atteindre la sonde (12). L'invention concerne également un procédé de détection de fuites.