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1. (WO2016150612) DILATATEUR DE FAISCEAU DE RAYONNEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/150612    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/052818
Date de publication : 29.09.2016 Date de dépôt international : 10.02.2016
CIB :
G02B 19/00 (2006.01), G02B 5/10 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G02B 17/08 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : NIENHUYS, Han-Kwang; (NL)
Mandataire : SLENDERS, Peter; (NL)
Données relatives à la priorité :
15160280.2 23.03.2015 EP
15168168.1 19.05.2015 EP
Titre (EN) RADIATION BEAM EXPANDER
(FR) DILATATEUR DE FAISCEAU DE RAYONNEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A radiation beam expander comprises a diverging optic and a converging optic. The diverging optic comprises one or more mirrors for receiving a radiation beam and increasing a divergence of the radiation beam. The converging optic comprising one or more mirrors arranged to receive the radiation beam and to reduce the divergence of the radiation beam. At least one of the one or more mirrors of the diverging optic and/or the converging optic is provided with an actuator arranged to control a curvature of the mirror. This allows the optical power of the diverging optic and/or the converging optic to be controlled independently of the angle at which a radiation beam is incident on the mirrors of said diverging optic or the converging optic. This allows the radiation beam expander to control the divergence of the radiation beam after the diverging and converging optics independently of the orientations and relative positions of the mirrors of the diverging and converging optics.
(FR)L'invention concerne un dilatateur de faisceau de rayonnement qui comprend une optique divergente et une optique convergente. L'optique divergente comprend un ou plusieurs miroirs pour recevoir un faisceau de rayonnement et augmenter une divergence du faisceau de rayonnement. L'optique convergente comprend un ou plusieurs miroirs disposés de manière à recevoir le faisceau de rayonnement et à réduire la divergence du faisceau de rayonnement. Au moins l'un des un ou plusieurs miroirs de l'optique divergente et/ou l'optique convergente est pourvu d'un actionneur agencé pour commander une courbure du miroir. Cela permet à la puissance optique de l'optique divergente et/ou l'optique convergente d'être commandée indépendamment de l'angle auquel un faisceau de rayonnement est incident sur les miroirs de ladite optique divergente ou optique convergente. Cela permet au dilatateur de faisceau de rayonnement de commander la divergence du faisceau de rayonnement après l'optique convergente et l'optique divergente indépendamment des orientations et des positions relatives des miroirs de l'optique convergente et de l'optique divergente.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)