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1. (WO2016149958) PANNEAU D'AFFICHAGE À CRISTAUX LIQUIDES, SUBSTRAT DE MATRICE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE TRANSISTOR À COUCHES MINCES

Pub. No.:    WO/2016/149958    International Application No.:    PCT/CN2015/075765
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Apr 03 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 21/336
H01L 21/285
H01L 27/12
H01L 29/49
Applicants: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
深圳市华星光电技术有限公司
Inventors: GAO, Dongzi
高冬子
Title: PANNEAU D'AFFICHAGE À CRISTAUX LIQUIDES, SUBSTRAT DE MATRICE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE TRANSISTOR À COUCHES MINCES
Abstract:
L'invention concerne un panneau d'affichage à cristaux liquides, un substrat de matrice, et un procédé de fabrication d'un transistor à couches minces. Le procédé de fabrication comprend les étapes consistant à : fournir un substrat (11); former une première couche de métal (12) sur le substrat (11), cette première couche de métal (12) comprenant une couche de métal d'aluminium (121), une couche d'oxyde d'aluminium (122) et une couche de métal de molybdène (123) qui sont empilées de manière séquentielle; former des motifs sur la première couche de métal (12) afin de former une électrode de grille (124); former de manière séquentielle une couche d'isolation de grille (125), une couche semi-conductrice (126) et une couche de contact ohmique (127) sur l'électrode de grille (124); former une deuxième couche de métal sur la couche de contact ohmique (127); et former des motifs sur la deuxième couche de métal afin de former une électrode source (128) et une électrode de drain (129). Une protubérance produite par la déformation de la couche de métal d'aluminium (121) à température élevée peut être empêchée, l'apparition d'un court-circuit entre l'électrode de grille (124), l'électrode de source (128) et l'électrode de drain (129) du transistor à couches minces est évitée, et la qualité d'affichage d'image du panneau d'affichage à cristaux liquides est assurée.