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1. (WO2016149693) CHAUFFAGE PAR FAISCEAU DE PARTICULES POUR IDENTIFIER DES DÉFAUTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/149693 N° de la demande internationale : PCT/US2016/023323
Date de publication : 22.09.2016 Date de dépôt international : 19.03.2016
CIB :
G01R 31/307 (2006.01)
Déposants : DCG SYSTEMS, INC.[US/US]; 3400 W. Warren Ave. Fremont, California 94538, US
Inventeurs : STALLCUP, Richard; US
UKRAINTSEV, Vladimir; US
BERKMYRE, Mike; US
LUNDQUIST, Theodore; US
Mandataire : SCHEINBERG, Michael O.; US
Données relatives à la priorité :
62/135,68919.03.2015US
Titre (EN) PARTICLE BEAM HEATING TO IDENTIFY DEFECTS
(FR) CHAUFFAGE PAR FAISCEAU DE PARTICULES POUR IDENTIFIER DES DÉFAUTS
Abrégé : front page image
(EN) A charged particle beam, such as an electron beam or an ion beam, scans a device while a signal is applied to the device. As the particle beam scans, it locally heats the device, altering the local electrical characteristics of the device. The change in electrical characteristic is detected to and correlated to the position of the electron beam to localize a defect.
(FR) Selon l'invention, un faisceau de particules chargées, tel qu'un faisceau d'électrons ou un faisceau d'ions, effectue un balayage sur un dispositif pendant qu'un signal est appliqué au dispositif. Au fur et à mesure que le faisceau de particules effectue le balayage, il chauffe localement le dispositif, ce qui permet de modifier les caractéristiques électriques locales du dispositif. Le changement de la caractéristique électrique est détecté et corrélé à la position du faisceau d'électrons pour localiser un défaut.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)