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1. (WO2016149517) AÉRATION MÉCANIQUE D'UNE NACELLE DE RÉTICULE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/149517    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/022911
Date de publication : 22.09.2016 Date de dépôt international : 17.03.2016
CIB :
H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Billerica, MA 01821 (US)
Inventeurs : GREGERSON, Barry; (US).
RASCHKE, Russ, V.; (US)
Mandataire : OLSTAD, Stuart, J.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/191,158 10.07.2015 US
62/135,101 18.03.2015 US
Titre (EN) MECHANICAL VENTING OF A RETICLE POD
(FR) AÉRATION MÉCANIQUE D'UNE NACELLE DE RÉTICULE
Abrégé : front page image
(EN)Mechanical venting arrangements for cracking the seal of a substrate container. In one substrate container, mechanical venting is provided by a rocker arm that is rotationally held in a configuration that seals a venting aperture when the door and cover of the substrate container are latched together. The rocker arm is biased, by gravity and/or by active biasing, to an open or vented configuration upon decoupling of the door and cover of the substrate container. In another substrate container, mechanical venting is provided by a sliding actuator valve assembly that is passively actuated by a latch of the substrate container. A sliding actuator drives a plunger assembly to close a venting aperture of the substrate container. Upon release of the latch, energy stored in a biasing element within the plunger assembly drives the sliding actuator into a retracted configuration, thereby opening the venting aperture.
(FR)L'invention concerne des agencements d'aération mécanique pour fissurer le joint d'un contenant de substrat. Dans un contenant de substrat, une aération mécanique est fournie par un culbuteur qui est maintenu en rotation dans une configuration qui scelle une ouverture d'aération lorsque la porte et le couvercle du contenant de substrat sont verrouillés ensemble. Le culbuteur est sollicité, par gravité et/ou par sollicitation active, vers une configuration ouverte ou aérée lors de la désolidarisation du couvercle et de la porte du contenant de substrat. Dans un autre contenant de substrat, une aération mécanique est fournie par un ensemble valve d'actionneur coulissant qui est passivement actionné par un verrou du contenant de substrat. Un actionneur coulissant entraîne un ensemble piston plongeur pour fermer une ouverture d'aération du contenant de substrat. Lors de la libération du verrou, l'énergie emmagasinée dans un élément de sollicitation à l'intérieur de l'ensemble piston plongeur entraîne l'actionneur coulissant dans une configuration rétractée, ce qui permet d'ouvrir l'ouverture d'aération.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)