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1. (WO2016149209) COUSSIN À RESSORT MODIFIÉ POUR UN DISPOSITIF D'EXPÉDITION DE CADRE DE FILM

Pub. No.:    WO/2016/149209    International Application No.:    PCT/US2016/022355
Publication Date: Fri Sep 23 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Tue Mar 15 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 21/677
Applicants: ENTEGRIS, INC.
Inventors: STEFFENS, Jason, Todd
RASCHKE, Russ, V.
Title: COUSSIN À RESSORT MODIFIÉ POUR UN DISPOSITIF D'EXPÉDITION DE CADRE DE FILM
Abstract:
L'invention porte sur un dispositif d'expédition de cadre de film qui fournit une prévention améliorée du saut de cadres de film à l'intérieur du dispositif d'expédition de cadre de film. En outre, les structures qui empêchent un saut augmentent également l'alignement des cadres de film pendant le chargement dans le dispositif d'expédition. En outre, dans certains modes de réalisation, ces structures permettent un encastrement à tolérance plus étroite entre l'épaisseur des cadres de film et les fentes d'enregistrement, ce qui réduit ainsi le jeu entre le cadre de film et la fente d'enregistrement et la génération de particules associée.