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1. (WO2016148909) SYSTÈME ET PROCÉDÉ D’ENLÈVEMENT DE MÉTAL NON VOLATIL POUVANT ÊTRE COMMANDÉE

Pub. No.:    WO/2016/148909    International Application No.:    PCT/US2016/020267
Publication Date: Fri Sep 23 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Mar 02 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 21/306
H01L 21/203
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
Inventors: CHEN, Tsung-Liang
SCHMIEGE, Benjamin
ANTHIS, Jeffrey W.
GILCHRIST, Glen
Title: SYSTÈME ET PROCÉDÉ D’ENLÈVEMENT DE MÉTAL NON VOLATIL POUVANT ÊTRE COMMANDÉE
Abstract:
L'invention concerne un système et un procédé d'enlèvement de métal d'un substrat d'une manière commandée. Le système comprend une chambre, comportant une ou plusieurs entrées de gaz servant à permettre l'écoulement de gaz dans la chambre, au moins une pompe d'évacuation, servant à évacuer des gaz de la chambre, et un élément chauffant pouvant modifier la température de la chambre. Selon certains modes de réalisation, un ou plusieurs gaz sont introduits dans la chambre à une première température. Les atomes de ces gaz réagissent chimiquement avec le métal de la surface du substrat pour former un composé pouvant être enlevé. Les gaz sont ensuite évacués de la chambre, laissant le composé pouvant être enlevé sur la surface du substrat. La température de la chambre est alors élevée à une seconde température, supérieure à la température de sublimation du composé pouvant être enlevé. Cette température augmentée permet de transformer en gaz le composé pouvant être enlevé et de l'évacuer de la chambre.