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1. (WO2016148563) PROCÉDÉ DE MESURE DE LA RÉSISTIVITÉ SPÉCIFIQUE DE MATÉRIAU EN COUCHE MINCE SANS LE BESOIN DE SECONDE SURFACE DE CONTACT

Pub. No.:    WO/2016/148563    International Application No.:    PCT/NL2016/000005
Publication Date: Fri Sep 23 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Tue Mar 22 00:59:59 CET 2016
IPC: G01T 1/185
Applicants: STICHTING VOOR FUNDAMENTEEL ONDERZOEK DER MATERIE
Inventors: VAN DER GRAAF, Hendrik
Title: PROCÉDÉ DE MESURE DE LA RÉSISTIVITÉ SPÉCIFIQUE DE MATÉRIAU EN COUCHE MINCE SANS LE BESOIN DE SECONDE SURFACE DE CONTACT
Abstract:
La présente invention concerne un Micromegas qui est utilisé pour mesurer les propriétés d'une couche (L) disposée sur un substrat support (S), telle que la résistivité (p) de couche lorsque l'épaisseur (D) de la couche est connue, ou l'épaisseur (D) de la couche lorsque la résistivité (p) de couche est connue ou telle que la résistivité (p) de la couche lorsque la constante diélectrique relative (k) de la couche est connue ou la constante diélectrique relative (k) de la couche lorsque la résistivité (p) de la couche est connue. Le Micromegas permet de produire un courant qui provoque un changement du potentiel de la surface de la couche, qui, à son tour, provoque un changement du facteur d'amplification du Micromegas. La relation entre l'amplification et le potentiel connus permet de connaître la chute de tension au-dessus de la couche et le courant à travers la couche et, par conséquent, la résistivité peut être calculée si l'épaisseur de la couche est connue, ou vice versa.