WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2016148385) BROCHE DE LEVAGE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/148385    N° de la demande internationale :    PCT/KR2016/000687
Date de publication : 22.09.2016 Date de dépôt international : 22.01.2016
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : KOMICO CO., LTD. [KR/KR]; 8, Mosan-ro Anseong-si Gyeonggi-do 17567 (KR)
Inventeurs : YOON, Sung Hee; (KR).
JUNG, Kwon Ho; (KR)
Mandataire : LEE, Dong Gun; (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2015-0037961 19.03.2015 KR
Titre (EN) LIFT PIN AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) BROCHE DE LEVAGE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(KO) 리프트 핀 및 이의 제조 방법
Abrégé : front page image
(EN)A lift pin supports a wafer while passing through a hole of a susceptor, on which the wafer is placed, in a process chamber where an epitaxial process for the wafer is performed, and the surface of the lift pin is made of glassy carbon.
(FR)Une broche de levage supporte une tranche tout en passant à travers un trou d'un suscepteur, sur lequel la tranche est placée, dans une chambre de traitement où un traitement épitaxial pour la tranche est effectué, la surface de la broche de levage étant en carbone vitreux.
(KO)리프트 핀은 웨이퍼를 대상으로 에피택셜 공정이 진행되는 공정 챔버의 내부에서 상기 웨이퍼가 놓여지는 서셉터의 홀을 관통하여 상기 웨이퍼를 지지하며, 표면이 유리질 카본(glassy carbon) 재질로 이루어진다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)