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1. (WO2016147912) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/147912    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/056821
Date de publication : 22.09.2016 Date de dépôt international : 04.03.2016
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : KELK LTD. [JP/JP]; 3-25-1, Shinomiya, Hiratsuka-shi, Kanagawa 2548543 (JP)
Inventeurs : KUBOTA Kazuhiko; (JP).
KINOSHITA Atsushi; (JP).
MAEDA Koji; (JP).
ISHII Keisuke; (JP)
Mandataire : KINOSHITA & ASSOCIATES; 3rd Floor, 26-13, Ogikubo 5-chome, Suginami-ku, Tokyo 1670051 (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-053793 17.03.2015 JP
Titre (EN) HEATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE
(JA) 加熱装置
Abrégé : front page image
(EN)A heating device (1) comprises: a baseplate (2); a faceplate (3) that is provided above the baseplate (2) and includes a film heater (32) for heating a wafer (W) mounted on the upper surface of the faceplate; a sleeve (4) that is provided between the baseplate (2) and the faceplate (3) and includes a main body section (4A) in which a through hole (4H) is formed in the up-down direction; and a support bolt (5) that penetrates the through hole (4H) in the sleeve (4) and supports the faceplate (3) on the baseplate (2). The distance from the axial center of the through hole (4H) in the sleeve (4) to a flat surface (4C) facing the outer side is shorter than the distance from the axial center of the through hole (4H) to an engaging surface (4D) facing the inner side.
(FR)Dispositif de chauffage (1) comprenant : une plaque de base (2) ; une plaque frontale (3) qui est disposée au-dessus de la plaque de base (2) et comprend un élément chauffant en film (32) pour chauffer une plaquette (W) montée sur la surface supérieure de la plaque frontale ; un manchon (4) qui est disposé entre la plaque de base (2) et la plaque frontale (3) et comprend une section corps principal (4A) dans laquelle un trou traversant (4H) est formé dans la direction haut-bas ; et un boulon de support (5) qui pénètre dans le trou traversant (4H) du manchon (4) et supporte la plaque frontale (3) sur la plaque de base (2). La distance entre le centre axial du trou traversant (4H) du manchon (4) et une surface plate (4C) tournée vers le côté extérieur est plus courte que la distance entre le centre axial du trou traversant (4H) et une surface d'entrée en prise (4D) tournée vers le côté intérieur.
(JA)加熱装置(1)は、ベースプレート(2)と、ベースプレート(2)の上方に設けられ、上面に載置されたウェーハ(W)を加熱するフィルムヒータ(32)を有するフェイスプレート(3)と、ベースプレート(2)とフェイスプレート(3)との間に設けられ、上下方向に貫通孔(4H)が形成された本体部(4A)を有するスリーブ(4)と、スリーブ(4)の貫通孔(4H)を貫通し、フェイスプレート(3)をベースプレート(2)に支持させる支持ボルト(5)とを備え、スリーブ(4)の貫通孔(4H)の軸中心から外方側に向いた平坦面(4C)までの距離は、貫通孔(4H)の軸中心から内方側に向いた係止面(4D)までの距離よりも小さい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)