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1. (WO2016147910) DISPOSITIF DE CAPTURE D'IMAGE DE CIBLE, DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/147910    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/056804
Date de publication : 22.09.2016 Date de dépôt international : 04.03.2016
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400,Oaza Yokokurashinden,Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventeurs : HOSODA Hirokazu; (JP).
YABU Takayuki; (JP).
HOSHINO Hideo; (JP)
Mandataire : MATSUURA, Kenzo; Matsuura & Associates, P.O. Box 176, Shinjuku Sumitomo Bldg. 23F, 6-1, Nishi-shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630223 (JP)
Données relatives à la priorité :
PCT/JP2015/057502 13.03.2015 JP
Titre (EN) TARGET IMAGE-CAPTURE DEVICE, EXTREME-ULTRAVIOLET-LIGHT GENERATION DEVICE, AND EXTREME-ULTRAVIOLET-LIGHT GENERATION SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE CAPTURE D'IMAGE DE CIBLE, DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) ターゲット撮像装置、極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システム
Abrégé : front page image
(EN)The present invention addresses the problem of making it possible to improve the stability of operation of an EUV-light generation device. A target image-capture device for capturing an image of a target which converts to a plasma and generates extreme UV light upon being irradiated with laser light, wherein the target image-capture device is provided with: a droplet detector for detecting the passage of droplets as targets outputted from a target feed part to a prescribed region in which the extreme UV light is generated, and outputting a detection signal each time the passage of the droplets is detected; an illumination light source for irradiating the droplets detected by the droplet detector with illumination light; an image-capture element for receiving light reflected from the droplets due to the droplets being irradiated with the illumination light, and capturing an image of the droplets; a shutter device that includes a shutter for switching between propagation and cutoff of light, including the light reflected to the image-capture element; and a control unit for outputting an exposure signal for causing the image-capture element to perform image-capture, outputting, to the shutter device, a shutter opening/closing signal for actuating the shutter so as to open/close upon receiving input of the detection signal, and causing the image-capture element to be exposed to the reflected light; the control unit optionally outputting the shutter opening/closing signal to the shutter device so that the shutter is in a closed state while the plasma is being generated by the droplets being irradiated with the laser light in the prescribed region.
(FR)La présente invention aborde le problème de permettre d'améliorer la stabilité de fonctionnement d'un dispositif de génération de lumière ultraviolette extrême (EUV pour Extreme UltraViolet). À cette fin, l'invention concerne un dispositif de capture d'image de cible destiné à capturer une image d'une cible qui se convertit en un plasma et génère une lumière ultraviolette (UV) extrême, lorsqu'elle est éclairée avec une lumière laser, le dispositif de capture d'image de cible comprenant : un détecteur de gouttelettes destiné à détecter le passage de gouttelettes en tant que cibles transmises depuis une partie de fourniture de cible à une région prescrite dans laquelle la lumière UV extrême est générée, et à transmettre un signal de détection chaque fois que le passage des gouttelettes est détecté ; une source de lumière d'éclairage destinée à éclairer les gouttelettes détectées par le détecteur de gouttelettes avec une lumière d'éclairage ; un élément de capture d'image destiné à recevoir la lumière réfléchie par les gouttelettes en raison de l'éclairage des gouttelettes par la lumière d'éclairage, et à capturer une image des gouttelettes ; un dispositif d'obturateur qui comprend un obturateur destiné à commuter entre une propagation de la lumière et une coupure de la lumière, comprenant la lumière réfléchie vers l'élément de capture d'image ; et une unité de commande destinée à transmettre un signal d'exposition pour amener l'élément de capture d'image à effectuer une capture d'image, à transmettre, au dispositif d'obturateur, un signal d'ouverture/de fermeture d'obturateur pour actionner l'obturateur de sorte à l'ouvrir/le fermer après réception d'une entrée du signal de détection, et à provoquer l'exposition de l'élément de capture d'image à la lumière réfléchie ; l'unité de commande transmettant facultativement le signal d'ouverture/de fermeture d'obturateur au dispositif d'obturateur de telle sorte que l'obturateur se trouve dans un état fermé pendant que le plasma est généré par les gouttelettes qui sont éclairées avec la lumière laser dans la région prescrite.
(JA)EUV光生成装置の動作の安定性を向上させ得る。 ターゲット撮像装置は、レーザ光が照射されることによりプラズマ化して極端紫外光を生成するターゲットを撮像するターゲット撮像装置であって、前記極端紫外光が生成される所定領域に前記ターゲットとしてターゲット供給部から出力されたドロップレットの通過を検出し、前記ドロップレットの通過が検出される度に検出信号を出力するドロップレット検出器と、前記ドロップレット検出器により検出された前記ドロップレットに照明光を照射する照明光源と、前記照明光を照射されたことによる前記ドロップレットからの反射光を受光して前記ドロップレットを撮像する撮像素子と、前記撮像素子への前記反射光を含む光の伝搬及び遮断を切り替えるシャッタを含むシャッタ装置と、前記撮像素子へ撮像を行わせる露光信号を出力し、前記検出信号が入力されると前記シャッタを開閉動作させるためのシャッタ開閉信号を前記シャッタ装置に出力して、前記反射光を前記撮像素子に露光させる制御部と、を備え、前記制御部は、前記所定領域において前記ドロップレットに前記レーザ光が照射されることにより前記プラズマが生成されている間は前記シャッタが閉じた状態となるように、前記シャッタ開閉信号を前記シャッタ装置に出力してよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)