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1. (WO2016147782) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/147782    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/054509
Date de publication : 22.09.2016 Date de dépôt international : 17.02.2016
CIB :
G01B 11/06 (2006.01)
Déposants : TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; Yaesu Ryumeikan Bldg., 3-22, Yaesu 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030028 (JP)
Inventeurs : KITAGAWA, Katsuichi; (JP).
OTSUKI, Masafumi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-053539 17.03.2015 JP
Titre (EN) FILM THICKNESS MEASUREMENT DEVICE AND FILM THICKNESS MEASUREMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM
(JA) 膜厚測定装置および膜厚測定方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a film thickness measurement device with which the film thicknesses at a plurality of points on a semitransparent film can be estimated collectively. More specifically, a film thickness measurement device 100 is provided with a control unit 50 for estimating unknown variables I1(j), I20(j), k(j), and t(i) on the basis of formula (1), where: i is the observation point number for an interference image captured by a color camera 40; j is the number for the type of monochromatic light of a white light source 10; λ(j) is the wavelength of the monochromatic light; n is the film refractive index of a semitransparent film 60; g(i,j) is the luminance value observed at an observation point; I1(j) is the intensity of reflected light from the front surface of the semitransparent film 60; I20(j) is the intensity of reflected light from the rear surface of the semitransparent film 60 in a case where there is no absorption of light; k(j) is the absorption coefficient of the semitransparent film 60; and t(i) is the film thickness of the semitransparent film 60.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure d'épaisseur de film avec lequel les épaisseurs de film en une pluralité de points sur un film semi-transparent peuvent être estimées collectivement. Plus spécifiquement, l'invention réalise un dispositif de mesure d'épaisseur de film (100) comprenant une unité de commande (50) destinée à estimer des variables inconnues I1(j), I20(j), k(j) et t(i) en se basant sur la formule (1), dans laquelle : i désigne le nombre de points d'observation pour une image d'interférence capturée par un appareil photographique couleur (40) ; j désigne le nombre pour le type de lumière monochromatique d'une source de lumière blanche (10) ; λ(j) désigne la longueur d'onde de la lumière monochromatique ; n désigne l'indice de réfraction de film d'un film semi-transparent (60) ; g(i,j) désigne la valeur de la luminance observée au niveau d'un point d'observation ; I1(j) désigne l'intensité de la lumière réfléchie depuis la surface avant du film semi-transparent (60) ; I20(j) désigne l'intensité de la lumière réfléchie depuis la surface arrière du film semi-transparent (60) dans un cas où il n'y a pas d'absorption de la lumière ; k(j) désigne le coefficient d'absorption du film semi-transparent (60) ; et t(i) désigne l'épaisseur de film du film semi-transparent (60).
(JA) 半透明膜の複数の点の膜厚を一括して推定することが可能な膜厚測定装置を提供する。具体的には、この膜厚測定装置100は、カラーカメラ40により撮像された干渉画像の観測点番号をi、白色光源10の単色光の種類に対する番号をj、単色光の波長をλ(j)、半透明膜60の膜屈折率をn、観測点において観測された輝度値をg(i,j)、半透明膜60の表面からの反射光の強さをI(j)、半透明膜60における光の吸収がない場合の裏面からの反射光の強さをI20(j)、半透明膜60の吸収係数をk(j)、半透明膜60の膜厚をt(i)とした場合、式(1)に基づいて、未知変数であるI(j)、I20(j)、k(j)およびt(i)を推定する制御部50を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)